SEMプレート・プレートホルダー製品情報

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 SEMプレートとSEMプレートホルダー:

・SEMプレートは一般に使用されているSEM試料台に代わるカートリッジタイプの試料支持用円板で、専用のSEMプレートホルダー(別売)に
 挿入して使用します。
・SEMプレートのサイズは、Sサイズ(8.5mmΦ)とLサイズ(13mmΦ)の2種類があります。
・SEMプレートホルダーには、圧着バネによりSEMプレートを保持する方式(Lタイプ)と、ネジ蓋によってSEMプレートを保持する方式(M
 タイプ)があります。
・SEMプレートの素材として燐青銅、アルミニウム、ステンレス、チタニウム、ガラスを取り揃えています。
・試料を支持した状態のSEMプレートとSEMプレートホルダーを保存する専用のケース(別売)も用意されていますので、SEM試料台に比べて
 収納スペースが少なくてすみます。

  •  SEMプレート:Sタイプ

SEMプレート(S-PB):品番 SSH2-1001

・Sサイズ:8.5mmΦ×0.2mmt
・素材:燐青銅 (表面を保護しているプラスチックシートをはがして使用します。)
・対応SEMプレートホルダー:Mタイプホルダー(品番 SSH2-2003、SSH2-2004)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:SタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1001)に収納できます。

左写真:表面(青色の保護シートで覆われています。)
右写真:裏面(保護シートで覆われてはいません。)

アドレス付きSEMプレート(S-PBAD):品番 SSH2-1002

・Sサイズ:8.5mmΦ×0.2mmt
・素材:燐青銅
・0.4mmΦ孔を0.5mm間隔に8×8配列し、行と列にアドレスを刻印していますので、プレート内の試料
 位置情報の管理に便利です。
・全面にTAC/C複合薄膜が貼付されています。膜上に支持された試料は高コントラストで観察ができます。
・枠部に○印と△印が刻印されていますので、プレート表裏の確認が容易です。
・対応SEMプレートホルダー:Mタイプホルダー(品番 SSH2-2003、SSH2-2004)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:SタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1001)に収納できます。

 

SEMプレート(S-AL):品番 SSH2-1003

・Sサイズ:8.5mmΦ×0.2mmt
・素材:アルミニウム
・対応SEMプレートホルダー:Mタイプホルダー(品番 SSH2-2003、SSH2-2004)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:SタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1001)に収納できます。

SEMプレート(S-SUS):品番 SSH2-1004

・Sサイズ:8.5mmΦ×0.2mmt
・素材:ステンレス
・対応SEMプレートホルダー:Mタイプホルダー(品番 SSH2-2003、SSH2-2004)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:SタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1001)に収納できます。

SEMプレート(S-TI):品番 SSH2-1005

・Sサイズ:8.5mmΦ×0.2mmt
・素材:チタニウム
・対応SEMプレートホルダー:Mタイプホルダー(品番 SSH2-2003、SSH2-2004)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:SタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1001)に収納できます。

SEMプレート(S-GL):品番 SSH2-1006 (特注品:ご希望の際は弊社までご連絡ください。)

・Sサイズ:8.5mmΦ×0.2mmt
・素材:ガラス
・対応SEMプレートホルダー:Mタイプホルダー(品番 SSH2-2003、SSH2-2004)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:SタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1001)に収納できます。

  •  SEMプレート:Lタイプ

SEMプレート(L-PB):品番 SSH2-1007

・Lサイズ:13mmΦ×0.2mmt
・素材:燐青銅 (表面を保護しているプラスチックシートをはがして使用します。)
・対応SEMプレートホルダー:Lタイプホルダー(品番 SSH2-2003)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:LタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1002)に収納できます。

左写真:表面(青色の保護シートで覆われています。)
右写真:裏面(保護シートで覆われてはいません。)

アドレス付きSEMプレート(L-PBAD):品番 SSH2-1008

・Lサイズ:13mmΦ×0.2mmt
・素材:燐青銅 (表面を保護しているプラスチックシートをはがして使用します。)
・1mmピッチの格子(45個)が刻印されています。そして、各格子は4つの小部屋に区切られています
 各格子を単位とするアドレス刻印(英文字)と全体の4隅に刻印されている添え字(ローマ数字)の組み
 合わせでプレート内の試料位置情報を管理することができます。
・枠部に○印と▽印が刻印されていますので、プレートの方位確認が容易です。
・対応SEMプレートホルダー:Lタイプホルダー(品番 SSH2-2003)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:LタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1002)に収納できます。

SEMプレート(L-AL):品番 SSH2-1009

・Lサイズ:13mmΦ×0.5mmt
・素材:アルミニウム
・対応SEMプレートホルダー:Lタイプホルダー(品番 SSH2-2003)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:LタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1002)に収納できます。

SEMプレート(L-SUS):品番 SSH2-1010

・Lサイズ:13mmΦ×0.5mmt
・素材:ステンレス
・対応SEMプレートホルダー:Lタイプホルダー(品番 SSH2-2003)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:LタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1002)に収納できます。

SEMプレート(L-TI):品番 SSH2-1011

・Lサイズ:13mmΦ×0.2mmt
・素材:チタニウム
・対応SEMプレートホルダー:Lタイプホルダー(品番 SSH2-2003)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:LタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1002)に収納できます。

SEMプレート(L-GL):品番 SSH2-1012 (特注品:ご希望の際は弊社までご連絡ください。)

・Lサイズ:13mmΦ×0.2mmt
・素材:ガラス
・対応SEMプレートホルダー:Lタイプホルダー(品番 SSH2-2003)に装着して利用します。
・対応SEMプレートケース:LタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1002)に収納できます。

  •  SEMプレートホルダー:Sタイプ

2022年12月をもって、SEMプレートホルダー(S1)(品番SSH2-2002)並びにSEMプレートホルダー(S2)(品番SSH2-2001)の販売を中止いたしました

SタイプのSEMプレート(品番SSH2-1001~1006)の装着にはMタイプのSEMプレートホルダー(品番SSH2-2003、2004)をご利用ください。

  •  SEMプレートホルダー:Mタイプ

SEMプレートホルダー(M2):品番 SSH2-2003(2個セット)
SEMプレートホルダー(M1):品番 SSH2-2004(1個)

   SEMプレートホルダー(M)     ネジ蓋でSEMプレート(S)を固定します。 

・Mサイズ:12.5mmΦ×8mmH
・素材:真鍮
・SEMプレート固定方式:ネジ蓋方式
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEMプレート:SタイプのSEMプレート(品番 SSH2-1001~SSH2-1006)を装着できます。

  •  SEMプレートホルダー:Lタイプ

SEMプレートホルダー(L2):品番 SSH2-2005(2個セット)
SEMプレートホルダー(L1):品番 SSH2-2006(1個)

    SEMプレートホルダー(L)     溝からSEMプレート(L)を装着します。 

・Lサイズ:15mmΦ×7mmH
・素材:真鍮
・SEMプレート固定方式:圧着バネ方式(圧着の強さは調整が可能です。)
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEMプレート:LタイプのSEMプレート(品番 SSH2-1007~SSH2-1012)を装着できます。
・対応SEMプレートケース:LタイプのSEMプレートケース(品番 SSC2-1002)に2個まで収納できます。