保有設備

設備名称	保有数
透過電子顕微鏡：日立 H-7650	１台
FE走査電子顕微鏡：日立 S-4100	１台
光学顕微鏡	５台
超ミクロトーム	２台
電子ビーム蒸着装置	１台
ドライ排気系真空蒸着装置	２台
DP排気系真空蒸着装置	５台
水晶式膜厚計	３台
高分子支持膜作製室	１室
マイクログリッド作製室	１室