SEM試料台・試料台ホルダー製品情報
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・様々な形状のSEM試料台を取り揃えていますので、試料形状や観察目的に対して最適な製品をお選びいただくことができます。
・多くのSEM試料台の底面にはM4ネジ穴が加工されています。
・SEM試料台ホルダーの底面にはM4ネジ穴が加工されていますので、M4ネジ穴加工が施されていないSEM試料台を装着することでM4ネジ穴
を持つ試料台に変換することができます。
- SEM試料台:Aタイプ(多分画型)
SEM試料台(A-26):品番 SSH2-3001
・サイズ:26mmΦ×8mmH
・素材:アルミニウム
・3分画のマークが刻印されている試料台です。
・26mmΦまでの大きなサイズの試料を支持固定したり、3個までの小片試料を支持固定することが
できます。また、表面3か所にM1.4ネジ穴加工が施されています。
・別売の試料押さえバネ(A-26試料台用付属品:品番 SSH2-3003)を利用すれば、試料を接着固定せずに
済みますので、試料台を効率よく使用することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(A-26B):品番 SSH2-3002
・サイズ:26mmΦ×8mmH
・素材:アルミニウム
・3分画のマークが刻印されている試料台です。
・26mmΦまでの大きなサイズの試料を支持固定したり、3個までの小片試料を支持固定することが
できます。また、表面3か所にM1.4ネジ穴加工が施されています。
・試料押さえバネとネジが付属していますので試料を接着固定せずに済み、試料台を効率よく使用する
ことができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
※バネとネジの追加購入にはA-26試料台用付属品(品番 SSH2-3003)をお求めください。
A-26試料台用付属品:品番 SSH2-3003
・セット内容:M1.4×3平小ねじ(燐青銅;3本)、試料押さえ板バネ(リン青銅;3枚)
・SEM試料台(A-26) (品番 SSH2-3001)、SEM試料台(A-26B)(品番 SSH2-3002)に適用します。
SEM試料台(A-32):品番 SSH2-3004
・サイズ:32mmΦ×7mmH
・素材:アルミニウム
・11分画のマークが刻印されている試料台です。
・32mmΦまでの大きなサイズの試料を支持固定したり、11個までの小片試料を支持固定することが
できます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(A-42):品番 SSH2-3005
・サイズ:42mmΦ×7mmH
・素材:アルミニウム
・12分画のマークが刻印されている試料台です。
・42mmΦまでの大きなサイズの試料を支持固定したり、12個までの小片試料を支持固定することが
できます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(A-110):品番 SSH2-3041
・サイズ:110mmΦ×10mmH
・素材:アルミニウム
・28箇所にM4ネジ穴加工がなされています。
・付属のM4ネジ(4本)を利用して4インチまでのウエハーを固定できます。
・大型試料の固定支持には別売のA-110試料台用付属品(品番 SSH2-3043)をご利用ください。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(A-110P):品番 SSH2-3042
・サイズ:110mmΦ×10mmH・素材:アルミニウム
・28箇所にM4ネジ穴加工がなされています。
・ネジを利用して4インチまでのウエハーを固定できます。
・付属のL型金具(2個)とM4ネジ(4本)を利用して大型試料を固定することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
※L型金具とネジの追加購入にはA-110試料台用付属品(品番 SSH2-3043)をお求めください。
A-110試料台用付属品:品番 SSH2-3043
・サイズ:20mm×80mm×5mmH(金具には5mm幅のL型溝加工が施されています。)
・素材:アルミニウム
・L型金具2個とM4ネジ4本のセットです。
・SEM試料台A-110、またはA-110Pに大型試料を固定するための部品です。
- SEM試料台:Bタイプ(板状試料断面観察用、試料ネジ止め固定型)
SEM試料台(B-10):品番 SSH2-3006:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:10mmΦ×7mmH
・素材:アルミニウム
・表面に長さ6.0mm×溝幅1.0mm×深さ5.0mmの溝2本が加工されています。
・板状試料(最大6mm幅×1mm厚×5mm高さ)を溝に挿入しネジ止め固定することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(B-15):品番 SSH2-3007:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:15mmΦ×7mmH
・素材:アルミニウム
・表面に長さ12.0mm×溝幅1.0mm×深さ4.0mmの溝2本が加工されています。
・板状試料(最大12mm幅×1mm厚×4mm高さ)を溝に挿入しネジ止め固定することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
- SEM試料台:Cタイプ(板状試料断面観察用、試料接着固定型)
SEM試料台(C-10):品番 SSH2-3008:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:10mmΦ×7mmH
・素材:アルミニウム
・表面に長さ8.0mm×溝幅0.2mm×深さ2.0mm、長さ10.0mm×溝幅0.5×深さ2.0mm、
長さ8.0mm×溝幅1.0mm×深さ2.0mmのスリットが格子状に加工されています。
・板状試料を溝に挿入し接着固定して断面をSEM観察することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(10)(品番 SSC2-2001)、またはSEM試料台ケース(M4)
(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(C-15):品番 SSH2-3009 は2024年11月をもちまして販売中止となりました。
SEM試料台(C-15):品番 SSH2-3009
・サイズ:15mmΦ×7mmH
・素材:アルミニウム
・表面に長さ12.0mm×幅0.2mm×深さ2.0mm、長さ13.5mm×幅0.5×深さ2.0mm、
長さ14.5mm×幅1.0mm×深さ2.0mmのスリット各々2本が格子状に加工されています。
・板状試料を溝に挿入し接着固定して断面をSEM観察することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(15)(品番 SSC2-2002)、またはSEM試料台ケース(M4)
(品番 SSC2-2003)に収納できます。
- SEM試料台:D、Eタイプ(大型板状試料断面観察用、試料ネジ止め固定型)
SEM試料台(D-3015):品番 SSH2-3010:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:20mmΦ×10mmH
・素材:アルミニウム
・表面に溝幅3.0mm×深さ5.0mm、溝幅1.5mm×深さ5.0mmの溝が各々2本加工されています。
・板状試料を溝に挿入し付属のネジ(4本)で固定し、断面をSEM観察することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(D-4020):品番 SSH2-3011:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:20mmΦ×10mmH
・素材:アルミニウム
・表面に溝幅4.0mm×深さ5.0mm、溝幅2.0mm×深さ5.0mmの溝が各々2本加工されています。
・板状試料を溝に挿入し付属のネジ(4本)で固定し、断面をSEM観察することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(D-SET):品番 SSH2-3012
・SEM試料台(D-3015)(品番 SSH2-3010)1個とSEM試料台(D-4020)(品番 SSH2-3011)1個を組み合わせた製品です。
SEM試料台(E-5030):品番 SSH2-3013:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×10mmH
・素材:アルミニウム
・表面に溝幅5.0mm×深さ5.0mm、溝幅3.0mm×深さ5.0mmの溝が各々2本加工されています。
・板状試料を溝に挿入し付属のネジ(4本)で固定し、断面をSEM観察することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(E-6040):品番 SSH2-3014:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×10mmH
・素材:アルミニウム
・表面に溝幅6.0mm×深さ5.0mm、溝幅4.0mm×深さ5.0mmの溝が各々2本加工されています。
・板状試料を溝に挿入し付属のネジ(4本)で固定し、断面をSEM観察することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(E-SET):品番 SSH2-3015
・SEM試料台(E-5030)(品番 SSH2-3013)1個とSEM試料台(E-6040)(品番 SSH2-3014)1個を組み合わせた製品です。
- SEM試料台:その他のタイプ(クールステージ用、断面観察用、変形キューブ型)
SEM試料台(CS):品番 SSH2-3016:3個組セットでの販売となります。
・サイズ:15mmΦ×5mmH
・素材:アルミニウム
・M10ネジを持つ日立製SEMのクールステージに適用可能な試料台です。
・試料台側面の外周にローレット加工が施されています。
・底面にM10ネジ穴が加工されています。
表面 裏面
SEM試料台(T45-10):品番 SSH2-3017:10個組セットでの販売となります。
SEM試料台(T45-5):品番 SSH2-3018:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:20mmΦ×10mmH
・素材:アルミニウム
・表面の一部に45度傾斜面が加工されています。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(T45L1-5):品番 SSH2-3044:5個組セットでの販売となります。
SEM試料台(T45L1-3):品番 SSH2-3045:3個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×10mmH・素材:アルミニウム
・表面の一部に直角に掘り下げた(深さ:6mm)片断面形状と45度傾斜面が加工されています。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(L1-10):品番 SSH2-3019:10個組セットでの販売となります。
SEM試料台(L1-5):品番 SSH2-3020:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:20mmΦ×15mmH
・素材:アルミニウム
・上部半面を直角に掘り下げ加工(深さ:10mm)した片断面形状試料台です。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(L1P-2):品番 SSH2-3046:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×15mmH
・素材:アルミニウム・上部半面を直角に掘り下げ加工(深さ:10mm)した片断面形状
試料台です。
・垂直面にネジ止めされた18mm×7.5mm×2mmのアルミプレートを利用することで、
試料を接着固定せずに支持できますので、試料台を効率よく使用することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
※プレートとネジの追加購入にはL4試料台用付属品(品番 SSH-3051)をお求めください。
SEM試料台(L2-10):品番 SSH2-3021:10個組セットでの販売となります。
SEM試料台(L2-5):品番 SSH2-3022:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:26mmΦ×15mmH
・素材:アルミニウム
・表面中央部4mm幅の両側を直角に掘り下げ加工(深さ:10mm)した両断面形状試料台です。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(L3-5):品番 SSH2-3023:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×15mmH
・素材:アルミニウム
・表面中央部4mm幅の両側を直角に掘り下げ加工(深さ:10mm)した両断面形状試料台です。また、
垂直面2か所にM1.4ネジ穴加工が施されています。
・別売の試料押さえバネとネジ(L3試料台用付属品:品番 SSH2-3025)を利用すれば、試料を接着固定
せずに済みますので、試料台を効率よく使用することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(L3B-2):品番 SSH2-3024:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×15mmH
・素材:アルミニウム
・表面中央部4mm幅の両側を直角に掘り下げ加工(深さ:10mm)した両断面形状試料台です。また、
垂直面2か所にM1.4ネジ穴加工が施されています。
・試料押さえバネとネジが付属していますので試料を接着固定せずに済み、試料台を効率よく使用する
ことができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
L3試料台用付属品:品番 SSH2-3025
・セット内容:M1.4×3平小ねじ(燐青銅;2本)、試料押さえ板バネ(リン青銅;2枚)
・SEM試料台(L3-5)(品番 SSH2-3023) 、SEM試料台(L3B-2)(品番 SSH2-3024)に適用します。
SEM試料台(L4-5):品番 SSH2-3049:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×15mmH
・素材:アルミニウム
・表面中央部6mm幅の両側を直角に掘り下げ加工(深さ:10mm)した両断面形状試料台です。
・垂直面2か所にM2ネジ穴加工が施されています。
・別売の試料押さえプレートとネジ(L4試料台用付属品:品番 SSH2-3051)を利用すれば、試料を接着
固定せずに済みますので、試料台を効率よく使用することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
SEM試料台(L4P-2):品番 SSH2-3050:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:25mmΦ×15mmH・素材:アルミニウム
・素材:アルミニウム
・表面中央部6mm幅の両側を直角に掘り下げ加工(深さ:10mm)した両断面形状試料台です。
・垂直面にM2ネジ穴加工が施されています。
・試料押さえプレート(1枚)とネジ(2本)が付属していますので、試料を接着固定せずに済み試料台を効率よく
使用することができます。
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
※プレートとネジの追加購入にはL4試料台用付属品(品番 SSH2-3051)をお求めください。
L4試料台用付属品:品番 SSH2-3051
・セット内容:M2×10平小ねじ(燐青銅;5本)、
試料押さえプレート(アルミ;18mm×7.5mm×2mm:2枚)
・SEM試料台(L4-5) (品番 SSH2-3049)、SEM試料台(L4P-2)(品番 SSH2-3050)、および
SEM試料台(L1P-2)(品番 SSH2-3046)に適用します。
SEM試料台(CUBE):品番 SSH2-3026:3個組セットでの販売となります。
表面 裏面
・サイズ:一辺が15mmの変形立方体
・素材:アルミニウム
・カットされた面とその両側の斜面にM4ネジ穴が加工(3か所)されています。
・試料を取り付けなおすことなく、ネジ穴を変えるだけで平面観察、45度方向からの観察、および断面
観察が可能です。(WDはほとんど変わりません。)
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(M4)(品番 SSC2-2003)に収納できます。
- SEM試料台:日立超高分解能SEM用試料台:3種類を取り揃えています。
SEM試料台(H-1):品番 SSH2-3027:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:11mm(使用可能領域は10mm)×5mm×4mmH
・素材:アルミニウム
・日立超高分解能SEM 用試料台タイプNo.1に相当します。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(H)(品番 SSC2-2004)に収納でき
ます。
表面 裏面
SEM試料台(H-2):品番 SSH2-3028 は2024年4月をもちまして販売中止となりまし た。
・サイズ:11mm(使用可能領域は10mm)×5mm×3.5mmH
・素材:アルミニウム
・日立超高分解能SEM 用試料台タイプNo.2に相当します。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(H)(品番 SSC2-2004)に収納でき
ます。
表面 裏面
SEM試料台(H-3):品番 SSH2-3029:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:11mm(使用可能領域は10mm)×5mm×5mmH
・素材:アルミニウム
・日立超高分解能SEM 用試料台タイプNo.3に相当します。
・対応SEM試料台ケース:SEM試料台ケース(H)(品番 SSC2-2004)に収納でき
ます。
表面 裏面
SEM試料台(H-90):品番 SSH2-3030 は2022年12月をもちまして販売中止となりました。
- SEM試料台ホルダー:3種類のホルダーを取り揃えています。
SEM試料台ホルダー(10) (SBH10-2):品番 SSH2-4001:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:15mmΦ×7mmH
・穴形状:10mmΦ×6mmD
・素材:真鍮
・側面に試料台止め用ネジ穴が2か所加工されています。
・10mmΦのSEM試料台をネジ止めで装着することができます。
・付属品:ネジ(2本)
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
表 裏
・10mmΦ試料台装着例:SEM試料台(C-10):品番 SSH2-3008を装着した状態
・試料台は2か所のネジで固定します。
SEM試料台ホルダー(15) (SBH15-2):品番 SSH2-4002:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:20mmΦ×8mmH
・穴形状:15mmΦ×7mmD
・素材:アルミニウム
・側面に試料台止め用ネジ穴が2か所加工されています。
・15mmΦのSEM試料台をネジ止めで装着することができます。
・付属品:ネジ(2本)
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
表 裏
・15mmΦ試料台装着例:SEM試料台(C-15):品番 SSH2-3009を装着した状態
・試料台は2か所のネジで固定します。
SEM試料台ホルダー(P) (SBHP-2):品番 SSH2-4003:2個組セットでの販売となります。
・サイズ:15mmΦ×13mmH
・穴形状:6mmΦ×7mmD
・素材:アルミニウム
・側面に試料台止め用ネジ穴が1か所加工されています。
・ポアT型試料台を日立製SEMのステージ装着に適したM4ネジ穴加工試料台に
変換することができます。
・付属品:ネジ(1本)
・底面にM4ネジ穴が加工されています。
表 裏
・ポアT型試料台装着例
・試料台は1か所(写真裏側に配置されています)のネジで固定します。
- SEM試料台関連:その他の製品
M4-ピン変換アダプター:品番 SSH2-4004:5個組セットでの販売となります。
・サイズ:全長 11mm、M4ネジ部長さ 4mm、ピン部長さ 7mm、ピン部太さ 3mm
・素材:アルミニウム
・底面にM4ネジ穴加工が施されているSEM試料台に本製品をねじ込むことでピンタイプ試料台に変換
することができます。