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透過電子顕微鏡の倍率チェックに利用する各種試料を、グリッド(メッシュ）に積載した状態で製品をご提供しています。

グレーティングレプリカ(T22)：品番 TRM2-1001

・格子形状：2000本/mm(ライン間隔：0.5μm）の回折格子が縦横にクロスした形状です。
・試料形状：Au-Pdをプレシャドウイングしたカーボンレプリカ薄膜です。
・使用グリッド：Cu150P
・有効使用保証面積：0.5mm角程度以上
・格子間隔精度：製品の特性上、格子間隔の絶対寸法あるいは精度は保証いたしかねます。

・格子間隔の精度保証はできませんので、透過電子顕微鏡の拡大倍率の絶対値測定ではなく、
　時間経過に伴う倍率変動のチェックを目的としたご利用に適します。

グレーティングレプリカ(T12)：品番 TRM2-1002

・格子形状：2000本/mm(ライン間隔：0.5μm）と1000本/mm(ライン間隔：1μm）の回折格子が
　縦横にクロスした形状です。
・試料形状：Au-Pdをプレシャドウイングしたカーボンレプリカ薄膜です。
・使用グリッド：Cu150P
・有効使用保証面積：0.5mm角程度以上
・格子間隔精度：製品の特性上、格子間隔の絶対寸法あるいは精度は保証いたしかねます。

・格子間隔の精度保証はできませんので、透過電子顕微鏡の拡大倍率の絶対値測定ではなく、
　時間経過に伴う倍率変動のチェックを目的としたご利用に適します。

ポリスチレンラテックス球3種混合(TM)：品番 TRM2-1003

・試料形状：コロジオン支持膜上に直径0.2(左写真)、0.5(中央写真)、1.1μm(右写真)のポリスチレンラテックス粒子を混合して分散支持。
・使用グリッド：Cu100P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・透過電子顕微鏡の拡大倍率の絶対値測定、あるいは時間経過に伴う倍率変動のチェックを目的としたご利用に適します。

注意
　1.　ポリスチレンラテックス粒子径はラテックスメーカー値を採用しています。弊社の試料作製過程において粒子径が変化する様な処理は
　　　極力避けておりますが、粒子径の精度保証はいたしておりません。また、メーカーからの購入時期による粒径値の変動があり得ます。
　2.　本試料は電子線照射損傷を受け易いため、TEM観察に当たっては照射電子線量をできるだけ下げた状態で行うようご注意下さい。

ポリスチレンラテックス球3種混合(TS)：品番 TRM2-1004

・試料形状：コロジオン支持膜上に直径0.09(左写真)、0.2(中央写真)、0.5μm(右写真)のポリスチレンラテックス粒子を混合して分散支持。
・使用グリッド：Cu100P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・透過電子顕微鏡の拡大倍率の絶対値測定、あるいは時間経過に伴う倍率変動のチェックを目的としたご利用に適します。

注意
　1.　ポリスチレンラテックス粒子径はラテックスメーカー値を採用しています。弊社の試料作製過程において粒子径が変化する様な処理は
　　　極力避けておりますが、粒子径の精度保証はいたしておりません。また、メーカーからの購入時期による粒径値の変動があり得ます。
　2.　本試料は電子線照射損傷を受け易いため、TEM観察に当たっては照射電子線量をできるだけ下げた状態で行うようご注意下さい。

透過電子顕微鏡の分解能チェックに利用される結晶試料を、グリッド(メッシュ）に積載した状態で製品をご提供しています。

　【参考資料】
　　　　・TEMの分解能測定に利用される主な結晶試料と格子縞間隔を下表にまとめます。
　　　　・表中、青色文字で示した試料は製品として販売しています。また、緑色文字で示した試料は特注にて対応可能な製品です。

品番：TRM2-1005
・試料形状：カーボングラファイト粒子（結晶格子縞間隔：0.34nm）をマイクログリッド上に分散支持。
・使用グリッド：Cu150P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・結晶格子縞間隔（0.34nm）を利用して、透過電子顕微鏡の拡大倍率の測定や格子分解能のチェックを目的としたご利用に適します。

品番：TRM2-1006
・試料形状：パイロフィライト粒子（結晶格子縞間隔：0.45nm）をマイクログリッド上に
　分散支持。
・使用グリッド：Cu150P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・結晶格子縞間隔（0.45nm）を利用して、透過電子顕微鏡の拡大倍率の測定や格子分解能
　のチェックを目的としたご利用に適します。

品番：TRM2-1007
・試料形状：セピオライト粒子（結晶格子縞間隔：1.2nm）をマイクログリッド上に分散支持。
・使用グリッド：Cu150P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・結晶格子縞間隔（1.2nm）を利用して、透過電子顕微鏡の拡大倍率の測定を目的としたご利用に適します。

品番：TRM2-1008
・試料形状：コロジオン支持膜上に分散支持されているポリスチレンラテックス粒子に白金パラジウム（Pt-Pd)をシャドウイング蒸着。
・使用グリッド：Cu150P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・シャドウイング境界に見られるPt-Pd蒸着微粒子を利用して、透過電子顕微鏡の粒子分解能チェックを目的としたご利用に適します。

金蒸着微粒子(C)：品番 TRM2-1009

・試料形状：厚さ10～15nｍのカーボン支持膜上に金を0.3～0.5nmの厚さに蒸着。
・使用グリッド：Cu100P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・金（111）の結晶格子縞間隔(0.23nm)をリファレンスとしてカーボン蒸着微粒子像の
　FFTパターンの空間周波数軸を校正することができますので、透過電子顕微鏡の粒子分
　解能チェックや情報限界(インフォメーションリミット）の測定を目的としたご利用に
　適します。

金蒸着微粒子(G)：品番 TRM2-1010

・試料形状：厚さ8～10nｍのゲルマニウム支持膜上に金を0.3～0.5nmの厚さに蒸着。
・使用グリッド：Cu100P
・有効使用保証面積：0.8mm角程度以上

・金（111）の結晶格子縞間隔(0.23nm)をリファレンスとしてゲルマニウム蒸着微粒子
　像のFFTパターンの空間周波数軸を校正することができますので、透過電子顕微鏡の粒
　子分解能チェックや情報限界(インフォメーションリミット）の測定を目的としたご利
　用に適します。
・ゲルマニウム蒸着粒子はカーボン蒸着粒子より細かいため金蒸着微粒子(C)（品番：
　TRM2-1009）よりも高い空間周波数領域の測定に適します。

非点収差補正や軸調整など、透過電子顕微鏡の調整や状態診断に適した試料や、電子回折パターン観察に適した試料を、グリッド(メッシュ）に
積載した状態で製品をご提供しています。

非点収差補正用マイクログリッド：品番 TRM2-1011

非点収差補正後 ⇒

　　　　　　　　　　　　　　　　フレネル縞を利用した非点収差補正例：補正前（左）、補正後（右）

・試料形状：孔径が約0.5µm～2µmΦのマイクログリッドにカーボン補強。
・使用グリッド：Cu150P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・マイクログリッドの縁に現れるフレネル縞を利用して中低倍率領域における透過電子顕微鏡の非点収差補正を目的とした
　ご利用に適します。
・また、中低倍率領域における電流軸、電圧軸の調整用試料としてもご利用になれます。

非点収差補正用薄膜：品番 TRM2-1012

・試料形状：厚さ10～15nmの白金-カーボン（Pt-C)蒸着薄膜
・使用グリッド：Cu100P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・膜地を形成する微粒子の像（バックグランドノイズ像）の見え方を利用して高倍率領域における透過電子顕微鏡の非点収差補正を目的とした
　ご利用に適します。

酸化モリブデン微結晶：品番 TRM2-1013

　　　　　　　　　　　　　MoO3単結晶粒子（左）と電子回折パターン（右）

・試料形状：コロジオン支持膜上に酸化モリブデン（MoO3)微結晶を分散支持しています。
・使用グリッド：Cu100P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・電子回折パターンと拡大像との方位対応（回転角）の把握やカメラ長の校正を目的としたご利用に適します。

マイカ結晶薄膜：品番 TRM2-1014

　　　　　　　SEM観察したグリッド上のマイカ薄片支持状態（左）と電子回折パターン（右）

・試料形状：グリッド（メッシュ）上にマイカ結晶薄片を直接支持しています。（結晶全面に渡り方位は同一です。）
・使用グリッド：Cu100P
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上

・電子回折用標準試料としてカメラ長の校正に適します。
・結晶性支持膜としてもご利用できます。

走査電子顕微鏡の倍率チェックに利用される各種試料を、金属やガラス板の支持基板上に貼付した状態で製品をご提供しています。

グレーティングレプリカ(S22)：品番 SRM2-1001

・格子形状：2000本/mm(ライン間隔：0.5μm）の回折格子が縦横に
　クロスした形状です。
・試料形状：Au-PdをプレシャドウイングしたSEM観察用のレプリカ膜
　です。
・使用基板：4.5ｍｍΦのアルミニウム板上にグラファイトペーストで
　接着固定されています。。
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上
・格子間隔精度：製品の特性上、格子間隔の絶対寸法あるいは精度は
　保証いたしかねます。

・格子間隔の精度保証はできませんので、走査電子顕微鏡の拡大倍率の
　絶対値測定ではなく、SEM倍率の経年変化チェックやSEMの装置調整
　 (非点収差補正など）にご利用できます。
・Au-Pdシャドウイング処理が施されていますのでコントラストの高い
　像として観察することができます。

グレーティングレプリカ(S12)：品番 SRM2-1002

・格子形状：2000本/mm(ライン間隔：0.5μm）と1000本/mm
　(ライン間隔：1μm）の回折格子が縦横にクロスした形状です。
・試料形状：Au-PdをプレシャドウイングしたSEM観察用のレプリカ膜
　です。
・使用基板：4.5ｍｍΦのアルミニウム板上にグラファイトペーストで
　接着固定されています。
・有効使用保証面積：1.0mm角程度以上
・格子間隔精度：製品の特性上、格子間隔の絶対寸法あるいは精度は
　保証いたしかねます。

・格子間隔の精度保証はできませんので、走査電子顕微鏡の拡大倍率の
　絶対値測定ではなく、SEM倍率の経年変化チェックやSEMの装置調整
　(非点収差補正など）にご利用できます。
・Au-Pdシャドウイング処理が施されていますのでコントラストの高い
　像として観察することができます。

ポリスチレンラテックス球3種混合(SM)：品番 SRM2-1003

・試料形状：５ｍｍ角のガラス基板上に直径0.2、0.5、1.1μmのポリス
　チレンラテックス粒子3種を混合して分散支持し、全体にAuまたは
　Au-Pdを真空蒸着しています。
・有効使用保証面積：2.0mm角程度以上

・走査電子顕微鏡の拡大倍率の時間経過に伴う倍率変動のチェックを
　目的としたご利用に適します。
・ガラス基板の裏面に赤色の×印が書かれていますので、表裏の区別が
　容易です。
・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。

注意
　1.　ポリスチレンラテックス粒子径はラテックスメーカー値を採用して
　　　います。弊社の試料作製過程において粒子径が変化する様な処理は
　　　極力避けておりますが、粒子径の精度保証はいたしておりません。　　　また、メーカーからの購入時期による粒径値の変動があり得ます。
　2.　本試料は電子線照射損傷を受け易いため、SEM観察に当たっては
　　　照射電子線量をできるだけ下げた状態で行うようご注意下さい。

ポリスチレンラテックス球3種混合(SS)：品番 SRM2-1004

・試料形状：５ｍｍ角のガラス基板上に直径0.09、0.2、0.5μmのポリス
　チレンラテックス粒子3種を混合して分散支持し、全体にAuまたは
　Au-Pdを真空蒸着しています。
・有効使用保証面積：2.0mm角程度以上

・走査電子顕微鏡の拡大倍率の時間経過に伴う倍率変動のチェックを
　目的としたご利用に適します。
・ガラス基板の裏面に赤色の×印が書かれていますので、表裏の区別が
　容易です。
・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。

注意
　1.　ポリスチレンラテックス粒子径はラテックスメーカー値を採用して
　　　います。弊社の試料作製過程において粒子径が変化する様な処理は
　　　極力避けておりますが、粒子径の精度保証はいたしておりません。　　　また、メーカーからの購入時期による粒径値の変動があり得ます。
　2.　本試料は電子線照射損傷を受け易いため、SEM観察に当たっては
　　　照射電子線量をできるだけ下げた状態で行うようご注意下さい。

走査電子顕微鏡の状態チェックに適した試料を、金属の支持基板上に貼付した状態で製品をご提供しています。

調整試料(L)：品番 SRM2-1005

・特殊な繊維質基板上に微粒子（ポリスチレンラテックス粒子）を多め
　に載せ、その後Au-Pdを真空蒸着しています。
・上記繊維質基板はアルミプレート（4.5mmΦ×0.3ｍｍｔ）上にグラ
　ファイトペーストで接着固定されています。
・有効使用保証面積：1.5mm角程度以上

・2万倍～3万倍におけるSEMの現状性能チェック、性能・像質の経時
　変化、像質確認、非点収差調整、軸調整などの利用に適します。
・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。

走査電子顕微鏡の分解能チェックに利用される微粒子状試料を、金属の支持基板上に貼付した状態で製品をご提供しています。

分解能測定試料(M-M)：品番 SRM2-1007

・粒子の粗い磁気テープ上にAuが微粒子を形成するように真空蒸着され
　ています。
・上記磁気テープはアルミプレート（4.5ｍｍΦ×0.3ｍｍｔ）上にグラ
　ファイトペーストで接着固定されています。
・金粒子のサイズや粒子間隔の観察による分解能測定の目的に適します。
・汎用SEM（W-SEM）を用いた5万倍～10万倍の倍率における分解能
　測定に適します。
・有効使用保証面積：2.0mm角程度以上

・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。

分解能測定試料(M-H)：品番 SRM2-1008

・粒子の粗い磁気テープ上にAuが島状粒子を形成するように真空蒸着
　されています。
・上記磁気テープはアルミプレート（4.5ｍｍΦ×0.3ｍｍｔ）上にグラ
　ファイトペーストで接着固定されています。
・Auの島状構造の間隔による分解能測定の目的に適します。
・電界放出型SEM（FE-SEM）を用いた10万倍～20万倍の倍率における
　分解能測定に適します。
・有効使用保証面積：2.0mm角程度以上

・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。

分解能測定試料(G-M)：品番 SRM2-1009

・特殊グラファイト薄片上にAu微粒子が真空蒸着されています。
・上記グラファイト薄片はアルミプレート（4.5ｍｍΦ×0.3ｍｍｔ）上に
　グラファイトペーストで接着固定されています。
・Au粒子のサイズや粒子間隔による分解能測定の目的に適します。
・汎用SEM（W-SEM）を用いた10万倍～20万倍程度の倍率における分解
　能測定に適します。
・有効使用保証面積：1.5mm角程度以上

・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。

分解能測定試料(G-H)：品番 SRM2-1010

・特殊グラファイト薄片上に金-パラジウム（Au-Pd）微粒子が真空蒸着
　されています。
・上記グラファイト薄片はアルミプレート（4.5ｍｍΦ×0.3ｍｍｔ）上に
　グラファイトペーストで接着固定されています。
・金-パラジウム（Au-Pd）のサイズや粒子間隔による分解能測定の目的に
　適します。
・汎用SEM（W-SEM）を用いた20万倍～30万倍程度の倍率における分解
　能測定に適します。
・有効使用保証面積：1.5mm角程度以上

・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。

分解能測定試料(G-U)：品番 SRM2-1011

・特殊グラファイト薄片上に白金-パラジウム（Pt-Pd）微粒子が真空蒸着
　されています。
・上記グラファイト薄片はアルミプレート（4.5ｍｍΦ×0.3ｍｍｔ）上に
　グラファイトペーストで接着固定されています。
・白金-パラジウム（Au-Pd）のサイズや粒子間隔による分解能測定の目的
　に適します。
・汎用SEM（W-SEM）を用いた50万倍～60万倍程度の倍率における分解
　能測定に適します。
・有効使用保証面積：1.5mm角程度以上

・お客様がお持ちのSEM用試料支持台に張り付けてご利用ください。