FIBグリッド製品情報

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 FIBグリッド

・ステムのFIBグリッドには、L型(片耳タイプ)U型(両耳タイプ)Λ型(山型形状タイプ)の三つの基本形があります。
・L型とU型には、薄片試料支持部がフラットな形状を持つタイプと、複数のピラーを持つタイプがあります。
  フラットタイプ:一枚のグリッドに多くの薄片試料を支持固定することができます。
  ピラータイプ:ピラーの側面に薄片試料を(旗状に)支持固定すればFIB追加工の際にリデポの影響を受けにくくなります。
・Λ型には、山型形状の頂角が60度のタイプと45度のタイプがあります。
  60度タイプ:試料支持部は裾が開いた山型形状のためピラー型よりも振動の影響を受けにくく安定した観察ができます。
  45度タイプ:Y軸に沿った辺に薄片試料を(旗状に)支持固定すれば、FIB追加工の際にリデポの影響を受けにくくなります。
・同じ形状のグリッドで厚みが全面同一の1段タイプと薄片試料支持部以外が厚く加工された2段タイプを取り揃えています。
  2段タイプはグリッドをハンドリングする部分の厚みが1段タイプよりも厚いため取り扱いが容易です。

 ※FIBグリッドの保存ケースはこちらをご覧ください。

FIB関連リング
・FIBグリッドサポートリング:FIBグリッドに貼り付けて裏打ちすることで、試料ホルダーへのセットなどのハンドリングが容易になります。
・イオン研磨用単孔グリッド:イオン研磨加工する試料の支持固定に利用します。

 L型FIBグリッド:フラットタイプ(LF1、LF2型)

LF1型FIBグリッド
・フラット形状の試料支持部を持つ片耳タイプのグリッドです。
・全面同一の板厚です。
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(15μmt、20µmt)、Ni(20μmt)を取り揃えています。
・品番:FGL2-1101~FGL2-1108

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

LF2型FIBグリッド
・薄板加工されたフラット形状の試料支持部を持つ片耳タイプのグリッドです。
・薄板加工領域:1.2mmW×0.2mmD、薄板部厚さ:15~25μm
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(30μmt)を取り揃えています。
・品番:FGL2-1201~FGL2-1206

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

 L型FIBグリッド:ピラータイプ(LP1、LP2型)

LP1型FIBグリッド
・複数本のピラー形状試料支持部を持つ片耳タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:0.12mmW×0.3mmD
・全面同一の板厚です。
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(15μmt、20µmt)を取り揃えています。
・品番:FGL2-2101~FGL2-2106

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

LP2型FIBグリッド
・薄板加工された複数本のピラー形状試料支持部を持つ片耳タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:0.12mmW×0.3mmD
・薄板加工領域:ピラー部、薄板部厚さ:15~25μm
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(30μmt)を取り揃えています。
・品番:FGL2-2201~FGL2-2206

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

 U型FIBグリッド:フラットタイプ(UF1、UF2、UF3、UF4、UF5、UF6、UK2型)

UF1型FIBグリッド
・フラット形状の試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・全面同一の板厚です。
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(15μmt、20μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-1101~FGU2-1106

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UF2型FIBグリッド
・薄板加工されたフラット形状の試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・薄板加工領域:1.2mmW×0.2mmD、薄板部厚さ:15~25μm
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(30μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-1201~FGU2-1206

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UF3型FIBグリッド
・フラット形状の試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・薄片試料積載位置が3mmΦの縦中心より上方に0.3~0.4mmずれているタイプ。
・全面同一の板厚です。
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(20μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-1301~FGU2-1304

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UF4型FIBグリッド
・フラット形状の試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・薄片試料積載位置が3mmΦの縦中心より上方に0.3~0.4mmずれているタイプ。
・薄板加工領域:1.6mmW×0.3mmD、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(50μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-1401~FGU2-1406

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UF5型FIBグリッド
・フラット形状の試料支持部を持つ両耳(短耳)タイプのグリッドです。
・試料薄片積載位置が3mmΦの縦中心に一致しているタイプ。
・全面同一の板厚です。
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Ti(20μmt)、Ni(20μmt)、Mo(20μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-1501~FGU2-1508

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UF6型FIBグリッド
・フラット形状の試料支持部を持つ両耳(短耳)タイプのグリッドです。
・試料薄片積載位置が3mmΦの縦中心に一致しているタイプ。
・薄板加工領域:1.5mmW×0.2mmD、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(50μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-1601~FGU2-1604,FGU2-1607、FGU2-1608

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UK2型FIBグリッド
・フラット形状の試料支持部を持つ両耳(短耳)タイプのグリッドです。
・試料薄片積載位置が3mmΦの縦中心より下方に0.2mmずれているタイプ。
・薄板加工領域:1.6mmW×0.2mmD、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Mo(50μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-1801、FGU2-1802,FGU2-1807、FGU2-1808

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

 U型FIBグリッド:ピラータイプ(UP1、UP2、UP3、UP4、UP5、UP6型)

UP1型FIBグリッド
・複数本のピラー形状試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:0.12mmW×0.3mmD
・全面同一の板厚です。
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(20µmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-2101~FGL2-2104

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UP2型FIBグリッド
・薄板加工された複数本のピラー形状試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:0.14mmW×0.3mmD
・薄板加工領域:ピラー部、薄板部厚さ:15~25μm
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(30μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-2201~FGL2-2206

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UP3型FIBグリッド
・複数本の短いピラー形状試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:中央(0.08mmW×0.15mmD)、その他4本(0.1mmW×0.15mmD)
・薄片試料積載位置が3mmΦの縦中心より上方に0.3~0.4mmずれているタイプ。
・全面同一の板厚です。
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Mo(20μmt)、Cu(30μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-2301~FGU2-2304
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UP4型FIBグリッド
・複数本の短いピラー形状試料支持部を持つ両耳タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:中央(0.08mmW×0.15mmD)、その他4本(0.1mmW×0.15mmD)
・薄片試料積載位置が3mmΦの縦中心より上方に0.3~0.4mmずれているタイプ。
・薄板加工領域:ピラー部、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(50μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-2401~FGU2-2404、FGU2-2407、FGU2-2408
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UP5型FIBグリッド
・複数本の短いピラー形状試料支持部を持つ両耳(短耳)タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:中央(0.08mmW×0.15mmD)、中間2本(0.09mmW×0.15mmD)
        両端2本(0.1mmW×0.15mmD)
・試料薄片積載位置が3mmΦの縦中心に一致しているタイプ。
・全面同一の板厚です。
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Ti(20μmt)、Ni(20μmt)、Mo(20μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-2501~FGU2-2508
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

UP6型FIBグリッド
・複数本の短いピラー形状試料支持部を持つ両耳(短耳)タイプのグリッドです。
・ピラーサイズ:中央(0.08mmW×0.15mmD)、中間2本(0.09mmW×0.15mmD)
        両端2本(0.1mmW×0.15mmD)
・試料薄片積載位置が3mmΦの縦中心に一致しているタイプ。
・薄板加工領域:ピラー部、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Mo(50μmt)を取り揃えています。
・品番:FGU2-2601、FGU2-2602、FGU2-2607、FGU2-2608
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

 Λ型FIBグリッド:頂角60度タイプ(ΛN1、ΛN2、ΛO2型)

ΛN1型FIBグリッド
・頂角60度の山型形状の頂上に試料支持部を持つグリッドです。
・山型形状頂上(試料支持部)には幅約50μmのフラット加工領域があります。
・試料支持部は裾が開いた山型形状のためピラー型よりも振動の影響を受けにくく安定した観察ができます。
・全面同一の板厚です。
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(20µmt)を取り揃えています。
・品番:FGΛ2-1101~FGΛ2-1104

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

ΛN2型FIBグリッド
・頂角60度の山型形状試料支持部の先端(約0.2mm)が薄板加工されたグリッドです。
・山型形状頂上(試料支持部)には幅約50μmのフラット加工領域があります。
・試料支持部は裾が開いた山型形状のためピラー型よりも振動の影響を受けにくく安定した観察ができます。
・薄板加工領域:山型形状先端部の約0.2mm、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Mo(30µmt)を取り揃えています。
・品番:FGΛ2-1201~FGΛ2-1204
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

ΛO2型FIBグリッド
・頂角60度の山型形状試料支持部の先端(約0.2mm)が薄板加工された耳長型グリッドです。
・山型形状頂上(試料支持部)には幅約50μmのフラット加工領域があります。
・試料支持部は裾が開いた山型形状のためピラー型よりも振動の影響を受けにくく安定した観察ができます。
・薄板加工領域:山型形状先端部の約0.2mm、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Mo(30µmt)を取り揃えています。
・品番:FGΛ2-1205~FGΛ2-1206

(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

 Λ型FIBグリッド:頂角45度タイプ(ΛH1、ΛH2、ΛH3型)

ΛH1型FIBグリッド
・頂角45度の山型形状の頂上に試料支持部(約50μm幅)を持つグリッドです。
・山型形状頂上(試料支持部)には幅約50μmのフラット加工領域があります。
・Y軸に沿った辺に試料を(旗状に)支持固定すれば、FIB追加工の際にリデポの影響を受けにくくなります。
・試料支持部は裾が開いた山型形状のためピラー型よりも振動の影響を受けにくく安定した観察ができます。
・全面同一の板厚です。
・文字、丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(15µmt)、Mo(20µmt)を取り揃えています。
・品番:FGΛ2-2101~FGΛ2-2106
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

ΛH2型FIBグリッド
・頂角45度の山型形状試料支持部の先端(約0.2mm)が薄板加工されたグリッドです。
・山型形状頂上(試料支持部)には幅約50μmのフラット加工領域があります。
・Y軸に沿った辺に試料を(旗状に)支持固定すれば、FIB追加工の際にリデポの影響を受けにくくなります。
・試料支持部は裾が開いた山型形状のためピラー型よりも振動の影響を受けにくく安定した観察ができます。
・薄板加工領域:山型形状先端部の約0.2mm、薄板部厚さ:15~25μm
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(50μmt)、Ti(50μmt)、Mo(30µmt)を取り揃えています。
・品番:FGΛ2-2201~FGΛ2-2206
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

ΛH3型FIBグリッド(鳩型グリッド)
・頂角45度の山型形状試料支持部の先端が鉤型加工されたグリッドです。
・鉤型形状頂上部のX軸、Y軸に沿った辺のフラット領域はどちらも約100μmです。
・Y軸に沿った辺に試料を(旗状に)支持固定すれば、FIB追加工の際にリデポの影響を受けにくくなります。
・試料支持部は裾が開いた山型形状のためピラー型よりも振動の影響を受けにくく安定した観察ができます。
・全面同一の板厚です。
・文字や丸孔:貫通加工もしくはエッチング刻印されています。
・素材:Cu(30μmt)、Mo(20µmt)を取り揃えています。
・品番:FGΛ2-2301~FGΛ2-2304
(概略図に示した文字や記号は、製品の改良などのため予告なく変更する場合があります。)

 FIBグリッドサポートリング

Oリングタイプ
・FIBグリッドに貼り付けて裏打ちすることで、試料ホルダーへのセットなどのハンドリングが容易になります。
・サイズ:外径3mm×内径2mm×厚み50μm
・素材:Cu
・品番:FGS2-1001~FGS2-1002

Cリングタイプ
・FIBグリッドに貼り付けて裏打ちすることで、試料ホルダーへのセットなどのハンドリングが容易になります。
・サイズ:(外径)3mm×(内径)2mm×厚み30μm、開口角 135度
・素材:Mo
・品番:FGS2-2001~FGS2-2002

 イオン研磨用単孔グリッド

Oリングタイプ
・イオン研磨加工する試料の支持固定に利用します。
・サイズ:外径3mm×内径1mm×厚み50μm
・素材:Mo
・品番:FGS2-3001~FGS2-3002