４．支持膜やマイクログリッドに関する製品技術情報

４-１　高分解能観察のための支持膜に要求される事柄

１． 試料ドリフトが少ないこと
＊試料ドリフトの原因となる要素として以下のことが考えられます。
ⅰ）グリッド(メッシュ）に貼られた支持膜の状態：剥がれ、破れ、しわ、たるみ、異物などがあると試料ドリフトが生じます。
ⅱ）電子線照射に伴う支持膜の状態変化：温度変化、ビーム損傷、チャージアップ、などの状態変化が大きいほど試料ドリフトも大きくなります。

＊上に示したドリフトの原因となる要素の無い良質の支持膜を利用することが高分解能観察には必須です。
＊マイクログリッドの網目構造は試料ドリフトを小さく抑える効果を持っています。
　マイクログリッドを利用できる形状を持つ試料であればその利用を薦めます。

２． 支持膜厚さが薄いこと
　高分解能観察では、試料支持膜内での電子線の散乱を極力減らすことが大事です。基本的には、観察対象となる試料サイズと同等以下の厚さを持つ試料支持膜を利用することが必要です。また、マイクログリッドを利用できる形状を持つ試料であれば支持膜の貼られていない孔の部分（厚さ＝0）で試料の観察が可能です。その意味でマイクログリッドは理想的な試料支持膜と言えます。

＊観察目的に対する支持膜厚さの目安
ⅰ）極高分解能観察用：厚さ： 4～10nm、（ステム製品：各種マイクログリッド、SHRC、UHRC、C10、Ge05、Ge10、S10）
ⅱ）超高分解能観察用：厚さ： 5～15nm、（ステム製品：SHRC、UHRC、HRC、C10、Ge05、Ge10、S10）
ⅲ）高分解能観察用：厚さ：15～50nm、（ステム製品：HRC、C20、Ge20、ELS)

３．支持膜材料密度が低いこと
　一般的には低密度の高分子薄膜を低密度のカーボン真空蒸着膜で補強した支持膜が多用されていますが、高分解能観察用としては高分子薄膜を利用せずに低密度のカーボン、Si、SiO、SiO2、SiC、SiN、Geなどの薄膜のみで作製された支持膜が適しています。
また、マイクログリッドを利用できる形状を持つ試料であれば支持膜の貼られていない孔の部分（密度=０）で試料の観察が可能です。その意味でマイクログリッドは理想的な試料支持膜と言えます。

４．試料汚染（コンタミネーション）が少ないこと
　TEM観察中に支持膜と試料自身から発生するハイドロカーボン分子は試料汚染の原因となります。試料汚染を防ぐには、①TEM観察前に支持膜や試料をプラズマ照射したり、②支持膜や試料に物理的・化学的なダメージを与えない範囲での加熱処理を施したり、などの前処理が効果的です。

４-２　元素分析利用時の注意事項と特注対応

１． 使用する支持膜を事前に分析してから、目的の分析を行う事をお勧めいたします。
　精度の高い分析をするには、システムピークをはじめ、グリッド(メッシュ）、支持膜、サポートマイクログリッドなどの試料支持体の構成元素に起因して発生するスペクトル、さらに試料汚染（コンタミネーション）からのスペクトルとの重なりを避けるようにすることが基本です。しかし現実には、これらのスペクトルの発生を避けるのは大変困難です。そのために、本来の元素分析に先立ってグリッド(メッシュ)、支持膜、サポートマイクログリッドから発生するスペクトルを把握しておくことが大事です。

２． ステムで標準的に使用している支持膜製品から発生するスペクトル
　ステムで標準的に使用しているグリッドの材料はＣｕあるいはＭｏですので、元素分析時にはＣｕ、あるいはＭｏが検出されることがあります。
また、試料支持膜（カーボン、ゲルマニウム、シリコン、各種のプラスチックが使われています）由来のスペクトルも検出されます。プラスチック部分からは材料の種類により異なりますが、カーボン、酸素、窒素が検出されます。

３． ゲルマニウム支持膜、アモルファスシリコン支持膜
　カーボンのスペクトルを発生させない試料支持体としてゲルマニウムやアモルファスシリコンの支持膜をお勧めいたします。しかし、試料汚染（コンタミネーション）が付着しますとそこからカーボンスペクトルが検出されてしまいますので、試料汚染の無い（コンタミネーションフリー）状態を保って分析することが大切です。

４．特注製品の対応
ⅰ）Ｃｕスペクトルの発生を嫌う分析時には、グリッド(メッシュ）材料をCuからＭｏ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ａｕ，Ａｌ，あるいはＳＵＳに変えることも良い解決手段となります。グリッド(メッシュ）材料をご指定いただければ特注製品として対応させていただきます。
ⅱ）その他にも、お客様の分析目的に合う支持膜材料やグリッド(メッシュ）材料をご指定いただければ特注製品として対応させていただくことも可能ですのでご相談ください。

４-３　試料冷却に利用する支持膜、マイクログリッドについて

＊ステム製マイクログリッドの一般知識については、4-6節を参照ください。

１． 真空中での試料冷却には多くの試料支持膜とマイクログリッド製品を使用することができます。
ⅰ）冷却スピード（降温スピード）が3℃/分程度であれば、多くの支持膜が使用可能と思われますが、グリッド(メッシュ)、支持膜、試料の熱膨張率の違いが、全体の形状変化（ドリフト、支持膜の剥がれ･やぶれ等）を引き起こします。
ⅱ）マイクログリッドについても多くのタイプが使用できますが、支持膜と同様の不具合を招く場合があります。
ⅲ）カーボン支持膜、ゲルマニウム支持膜、アモルファスシリコン支持膜は、プラスチック層がないので最も安定してご使用いただけます。

２． 予備実験
　実際の使用に当たっては、予備実験を行って適切な冷却速度や冷却温度を確認の上、ご使用ください。

３． 脱水処理
ⅰ）支持膜、マイクログリッド、グリッド(メッシュ）に付着している水分を除去する場合は、真空中で3～5℃/分の昇温スピードで１５０℃に加熱し、そのまま３０～９０分間放置して脱水処理をしてください。
ⅱ）なお、その際には１５０℃の加熱にに耐えられない支持膜やマイクログリッド製品は避けていただきますよう、ご注意ください。

４-４　試料加熱に利用する支持膜、マイクログリッドについて

＊ステム製マイクログリッドの一般知識については、4-6節を参照ください。

１． 真空中での耐熱温度は支持膜やマイクログリッドﾞの材料と構造、グリッド（メッシュ）材料に依存します。
ⅰ）支持膜やマイクログリッドﾞの材料と構造、グリッド（メッシュ）材料により、支持膜の耐熱限界に違いがありますので、希望する加熱温度に対応できる製品を選択してください。
ⅱ）高分子材料を使用しているエラスチックカーボン支持膜は、高分子の材料特性からは150℃が加熱限界となりますが、厚さ20～25nmのカーボン蒸着層が積層されているためか、昇温スピードを3℃/分程度に制御すれば300℃まで加熱しても破損せずに使用できたとのユーザー様からの情報もあります。
ⅲ）カーボン支持膜、ゲルマニウム支持膜、アモルファスシリコン支持膜は、プラスチック層がないのでより高い加熱温度（700～1,000℃）までご使用いただけます。
ⅳ）マイクログリッドについては、ＲＯＣが500℃程度、ＲＴＭが1,000℃程度、ＲＡＰが700℃程度の耐熱性を備えています。

２． 予備実験
ⅰ）いずれの支持膜/マイクログリッドも最初のご使用時には耐熱性確認のための予備実験を行ってください。
ⅱ）まずは3～5℃/分の 昇温スピードで加熱し、支持膜破損の生じない昇温スピードと上限温度を確認した上で、本格的に使用してください。

４-５　支持膜の受注生産（特注製品）について

　親水性支持膜、元素分析用支持膜、試料加熱用支持膜、耐薬品性支持膜、耐圧性支持膜などの特殊製品については、お客様よりご使用目的の詳細情報の提供を受けて、ご相談の上、あるいはご提案の上、仕様、価格、納期を決めて、お見積もりを提出いたします。

なお、納品後、許可をいただいた上で、公開できる内容で、特殊製品情報として、弊社ホームページに掲載させていただくことがあります。

ⅰ）親水性支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Cu、他
支持膜材料候補 シリコンモノオキサイド（SiO)：弱親水性、空気中で酸化し易く、表面はSiO2となる。
シリコンオキサイド（SiO2)：親水性
ポリビニールブチラール（PVB)：親水性
その他

ⅱ）分析用支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Cu、Mo、Pt、Ni、Ti、Al、Au、他
支持膜材料候補 シリコンモノオキサイド（SiO)
シリコンオキサイド（SiO2)
シリコンカーバイト（SiC)
ボロンナイトライド（BN)
アルミニウムオキサイド（Al2O3)
アモルファスシリコン（α-Si)
その他の金属材料、無機材料

ⅲ）高分解能観察用支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Cu、Mo、他
支持膜材料候補 ゲルマニウム（Ge)
アモルファスシリコン（α-Si)
カーボン（C)
ボロンナイトライド（BN)
マイクログリッド/カーボン補強
その他

ⅳ）耐薬品性支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Pt、Au、他
支持膜材料候補 シリコンモノオキサイド（SiO)
シリコンオキサイド（SiO2)
カーボン（C)
トリアフォール/カーボン補強 ：メタノール、エタノールに耐性があります。
　　　　　　　　　　　　　　　5万倍程度までの観察に利用できます。
マイクログリッド/カーボン補強
その他

ⅴ）冷却用支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Cu、Al、Au、他
支持膜材料候補 ゲルマニウム（Ge)
カーボン（C)
ボロンナイトライド（BN)
マイクログリッド/カーボン（厚膜）補強＋Au他
その他

ⅵ）加熱用支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Mo、Pt、他
支持膜材料候補 シリコンモノオキサイド（SiO)
シリコンオキサイド（SiO2)
シリコンナイトライド（SiN)
シリコンカーバイト（SiC)
ボロンナイトライド（BN)
マイクログリッド/カーボン（厚膜）補強
その他

ⅶ）環境セル用耐圧性支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Cu、Pt、Mo、他 　（形状は別途お打合せにより決定）
支持膜材料候補 トリアセチルセルロース（TAC)
カーボン（C)
シリコンオキサイド（SiO2)
シリコンナイトライド（SiN)
シリコンカーバイト（SiC)
その他

ⅷ）三次元観察用支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Cu、他 　（形状は別途お打合せにより決定）
支持膜材料候補 トリアセチルセルロース（TAC)
マイクログリッド/カーボン補強
その他

ⅸ）SEM/STEM用支持膜の受注生産の候補

グリッド(メッシュ）材料候補 Cu、Mo、Pt、Ni、Ti、Al、Au、他 　（形状は別途お打合せにより決定）
支持膜材料候補 非結晶性プラスチック
ゲルマニウム（Ge)
カーボン（C)
マイクログリッド/カーボン補強
その他

ⅹ）特殊グリッドへの薄膜貼付の受注生産について

特殊形状のTEMグリッド(メッシュ）への
薄膜貼付		 2.3mmΦ、3.0㎜Φ、大口径、単孔、スリット、などの電子顕微鏡用各種材料グリッド（メッシュ）にご希望の薄膜を貼付いたします。詳細についてはご相談ください。
（注）ご依頼の内容によってはご希望に添えない場合があります。
その他の支持台候補 薄膜センサー、薄膜フィルターなど、電子顕微鏡以外の特殊用途の部品に薄膜を貼付いたします。詳細についてはご相談ください。
（注）ご依頼の内容によってはご希望に添えない場合があります。

４-６　ステム製マイクログリッドの一般知識

　マイクログリッドは、TEM，STEM，SEM観察用微細試料の支持体として使用する多孔性の支持膜です。マイクロメッシュ、レーシィフィルム、ホーリィフィルムなどとも呼ばれます。代表的な作製法として坂田法（参考文献1)、深見法（参考文献2)があります。

　弊社マイクログリッドのTEM画像と特性を下に示します。

　　開口率が低く膜部が太い汎用マイクログリッド　　　　　　開口率が高く膜部が細いレース状のマイクログリッド

用途 ・TEM（加速電圧：75～300kV ）やSEM/STEMで観察する試料の支持に利用できます。
・各種試料支持膜と同様のサンプル支持・保持ができます。
・特に、粉体試料（粒状、板状、針状等）、微粒子状試料、切片等の薄膜状試料の支持に有効です。
理想的支持膜を実現 ・孔部分は、試料の下に支持膜が存在しないため、理想的な試料支持の状況を作り出すことができます。
作製法 ・弊社のマイクログリッドは、Self-perforated micro plastic grid 法（参考文献２)により作製されています。
材料 ・トリアフォール（酢酸酪酸セルロース）
形状 ・多孔性支持膜（孔の開いた膜）
・開口率によりネット状やレース状の膜孔形状を示します。
孔径 ・0.1～15μｍΦ
開口率 ・孔部面積の膜全面積に対する比率：10～90％
厚さ ・孔部分には支持膜がありません（0nm）
・膜部の厚さは、20～30nmです。
カーボン補強 ・TEM、STEM、SEMによる観察時の電子線ダメージや帯電を防止するために、標準品では厚さ10～15nmのカーボン蒸着を施しています。
・また、各種の耐性を持つ製品（Rシリーズ）では厚さ60～80nmのカーボン蒸着を施しています。

　　　(参考文献）
　　　　　1) S. Sakata: J. Electron Microsc., 6, 75 (1958)
　　　　　2) A. Fukami, K. Adachi: J. Electron Microsc., 14, 112 (1965)

４-７　使用可能保障孔率について

（使用可能保証孔率とは）
・ステムでは、支持膜およびマイクログリッドについて、破れなどがない外観的に使用可能なグリッド（メッシュ）孔数の全グリッド（メッシュ）孔に対する割合を使用可能保障孔率と定義し、それぞれの支持膜およびマイクログリッドに対して下表のように数値を定めています。

（不適合製品への対応）
・保証率に満たない不適合製品が混入していた場合は、交換により対応させていただきます。
・交換につきましては、納品後に適切な保管管理をしていただいた上で、２ヶ月以内のご連絡に対して対応させていただきます。
　（これ以降のご連絡に対しましては交換対応ができませんことをご了承ください。）

（製品ご利用上の注意事項）
・支持膜やマイクログリッドは“生もの”とご理解いただき、ご購入後３ヶ月以内（表面親水性支持膜は１ヶ月以内）のご使用をお勧めします。
・この期間、製品を室内に放置した状態で保管されますと支持膜の劣化が生じて保証孔率を維持することが困難になる場合があり、ご利用にあたってご不満が出たり、ご使用に支障をきたす場合がありますのでご注意ください。　
・そのため、１ヶ月程度の期間であればデシケータ内で製品を保存してくださるようお願いします。また、１か月以上の長期間にわたって製品を保管される場合には、真空恒温槽あるいは不活性ガス雰囲気の恒温槽内で定温保存（15～20℃の間の一定温度）されますようお願いします。

１．マイクログリッドの使用可能保証孔率
　　　マイクログリッドの使用可能保証孔率を下表に示します。各製品の詳細については製品情報ならびに価格表をご覧ください。

品番：NUシリーズ 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TMG2-1001 NU-C10 Cu100P Cu ＞80
TMG2-1002 NU-C15 Cu150P Cu ＞80
品番：NPシリーズ 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TMG2-2001 NP-C10 Cu100P Cu ＞80
TMG2-2002 NP-C13 Cu130P Cu ＞80
TMG2-2003 NP-C15 Cu150P Cu ＞80
TMG2-2004 NP-C17 Cu170P Cu ＞80
TMG2-2005 NP-C20 Cu200P Cu ＞80
TMG2-2006 NP-C30 Cu300P Cu ＞80
TMG2-2007 NP-M10 Mo100P Mo ＞80
TMG2-2008 NP-M15 Mo150P Mo ＞80
TMG2-2009 NP-N15 Ni150P Ni ＞80
TMG2-2010 NP-T15 Ti150P Ti ＞80
TMG2-2011 NP-T20 Ti200P Ti ＞80
TMG2-2012 NP-G200M-10 Au200M Au ＞80
TMG2-2013 NP-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
品番：NSシリーズ 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TMG2-3001 NS-C075 Cu75P Cu ＞80
TMG2-3002 NS-C10 Cu100P Cu ＞80
TMG2-3003 NS-C13 Cu130P Cu ＞80
TMG2-3004 NS-C15 Cu150P Cu ＞80
TMG2-3005 NS-C17 Cu170P Cu ＞80
TMG2-3006 NS-C20 Cu200P Cu ＞80
TMG2-3007 NS-C30 Cu300P Cu ＞80
TMG2-3008 NS-M05 Mo50P Mo ＞80
TMG2-3009 NS-M10 Mo100P Mo ＞80
TMG2-3010 NS-M15 Mo150P Mo ＞80
TMG2-3011 NS-N10 Ni100P Ni ＞80
TMG2-3012 NS-N15 Ni150P Ni ＞80
TMG2-3013 NS-T10 Ti100P Ti ＞80
TMG2-3014 NS-T15 Ti150P Ti ＞80
TMG2-3015 NS-T20 Ti200P Ti ＞80
TMG2-3016 NS-G200M-10 Au200M Au ＞80
TMG2-3017 NS-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
品番：NHシリーズ 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TMG2-4001 NH-C075 Cu75P Cu ＞80
TMG2-4002 NH-C10 Cu100P Cu ＞80
TMG2-4003 NH-C13 Cu130P Cu ＞80
TMG2-4004 NH-C15 Cu150P Cu ＞80
TMG2-4005 NH-C17 Cu170P Cu ＞80
TMG2-4006 NH-C20 Cu200P Cu ＞80
TMG2-4007 NH-C30 Cu300P Cu ＞80
TMG2-4008 NH-M05 Mo50P Mo ＞80
TMG2-4009 NH-M10 Mo100P Mo ＞80
TMG2-4010 NH-M15 Mo150P Mo ＞80
TMG2-4011 NH-N10 Ni100P Ni ＞80
TMG2-4012 NH-N15 Ni150P Ni ＞80
TMG2-4013 NH-T10 Ti100P Ti ＞80
TMG2-4014 NH-T15 Ti150P Ti ＞80
TMG2-4015 NH-T20 Ti200P Ti ＞80
TMG2-4016 NH-G200M-10 Au200M Au ＞80
TMG2-4017 NH-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
品番：NLシリーズ 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TMG2-5001 NL-C20 Cu200P Cu ＞70
TMG2-5002 NL-C30 Cu300P Cu ＞70
TMG2-5003 NL-C50 Cu500P Cu ＞70
TMG2-5004 NL-C2035 Cu2035 Cu ＞70
TMG2-5005 NL-C3560 Cu3560 Cu ＞70
TMG2-5006 NL-CsH05 0.5㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TMG2-5007 NL-CsH10 1.0㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TMG2-5008 NL-CsH15 1.5㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TMG2-5009 NL-CsS0618 0.6㎜×1.8㎜単スロット Cu 100
TMG2-5010 NL-CsS1018 1.0㎜×1.8㎜単スロット Cu 100
TMG2-5011 NL-Ti20 Ti200P Ti ＞70
TMG2-5012 NL-G100M-10 NL-G100M-10 Au ＞70
品番：Rシリーズ 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TMG2-6001 RO-C15 Cu150P Cu ＞80
TMG2-6002 RO-N10 Ni100P Ni ＞80
TMG2-6003 RO-T10 Ti100P Ti ＞80
TMG2-6004 RT-M10 Mo100P Mo ＞80
TMG2-6005 RA-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
TMG2-6006 RS-G200M-10 Au200M Au ＞80

２．各種支持膜の使用可能保証孔率
　　　各種支持膜の使用可能保証孔率を下表に示します。各製品の詳細については製品情報ならびに価格表をご覧ください。

グラッシーフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1001 GLF-C10 Cu100P Cu ＞80
TSF2-1002 GLF-C15 Cu150P Cu ＞80
コロジオンフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1101 COL-C075 Cu75P Cu ＞80
TSF2-1102 COL-C10 Cu100P Cu ＞80
TSF2-1103 COL-C13 Cu130P Cu ＞80
TSF2-1104 COL-C15 Cu150P Cu ＞80
TSF2-1105 COL-C17 Cu170P Cu ＞80
TSF2-1106 COL-C20 Cu200P Cu ＞80
TSF2-1107 COL-C30 Cu300P Cu ＞80
TSF2-1108 COL-C50 Cu500P Cu ＞80
TSF2-1109 COL-2035 Cu2035 Cu ＞80
TSF2-1110 COL-3560 Cu3560 Cu ＞80
TSF2-1111 COL-CsH05 0.5㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TSF2-1112 COL-CsH10 1.0㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TSF2-1113 COL-CsH15 1.5㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TSF2-1114 COL-CsS0618 0.6㎜×1.8㎜単スロット Cu 100
TSF2-1115 COL-CsS1018 1.0㎜×1.8㎜単スロット Cu 100
TSF2-1116 COL-M10 Mo100P Mo ＞80
TSF2-1117 COL-M15 Mo150P Mo ＞80
TSF2-1118 COL-N10 Ni100P Ni ＞80
TSF2-1119 COL-N15 Ni150P Ni ＞80
TSF2-1120 COL-T10 Ti100P Ti ＞80
TSF2-1121 COL-T15 Ti150P Ti ＞80
TSF2-1122 COL-T20 Ti200P Ti ＞80
TSF2-1123 COL-G200M-10 Au200M Au ＞80
TSF2-1124 COL-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
スライドフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1201 TAC-C10 Cu100P Cu ＞80
TSF2-1202 TAC-C15 Cu150P Cu ＞80
TSF2-1203 TAC-C20 Cu200P Cu ＞80
TSF2-1204 TAC-C30 Cu300P Cu ＞80
TSF2-1205 TAC-M10 Mo100P Mo ＞80
TSF2-1206 TAC-M15 Mo150P Mo ＞80
フォルムバールフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1301 PVF-C075 Cu75P Cu ＞80
TSF2-1302 PVF-C10 Cu100P Cu ＞80
TSF2-1303 PVF-C13 Cu130P Cu ＞80
TSF2-1304 PVF-C15 Cu150P Cu ＞80
TSF2-1305 PVF-C17 Cu170P Cu ＞80
TSF2-1306 PVF-C20 Cu200P Cu ＞80
TSF2-1307 PVF-C30 Cu300P Cu ＞80
TSF2-1308 PVF-C50 Cu500P Cu ＞80
TSF2-1309 PVF-2035 Cu2035 Cu ＞80
TSF2-1310 PVF-3560 Cu3560 Cu ＞80
TSF2-1311 PVF-CsH05 0.5㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TSF2-1312 PVF-CsH10 1.0㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TSF2-1313 PVF-CsH15 1.5㎜Φ単孔メッシュ Cu 100
TSF2-1314 PVF-CsS0618 0.6㎜×1.8㎜単スロット Cu 100
TSF2-1315 PVF-CsS1018 1.0㎜×1.8㎜単スロット Cu 100
TSF2-1316 PVF-M05 Mo50P Mo ＞80
TSF2-1317 PVF-M10 Mo100P Mo ＞80
TSF2-1318 PVF-M15 Mo150P Mo ＞80
TSF2-1319 PVF-N10 Ni100P Ni ＞80
TSF2-1320 PVF-N15 Ni150P Ni ＞80
TSF2-1321 PVF-T10 Ti100P Ti ＞80
TSF2-1322 PVF-T15 Ti150P Ti ＞80
TSF2-1323 PVF-T20 Ti200P Ti ＞80
TSF2-1324 PVF-G200M-10 Au200M Au ＞80
TSF2-1325 PVF-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
TSF2-1326 PVF-MGNSC10 MGサポート/Cu100P Cu ＞80
TSF2-1327 PVF-MGNSM10 MGサポート/Mo100P Mo ＞80
TSF2-1328 PVF-MGNSG200M-10 MGサポート/Au200M Au ＞80
モノックスコンポフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1501 MCP-C10 Cu100P Cu ＞80
エラスチックカーボンフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1601 ELS-C075 Cu75P Cu ＞80
TSF2-1602 ELS-C10 Cu100P Cu ＞80
TSF2-1603 ELS-C13 Cu130P Cu ＞80
TSF2-1604 ELS-C15 Cu150P Cu ＞80
TSF2-1605 ELS-M05 Mo50P Mo ＞80
TSF2-1606 ELS-M10 Mo100P Mo ＞80
TSF2-1607 ELS-M15 Mo150P Mo ＞80
TSF2-1608 ELS-N10 Ni100P Ni ＞80
TSF2-1609 ELS-N15 Ni150P Ni ＞80
TSF2-1610 ELS-T10 Ti100P Ti ＞80
TSF2-1611 ELS-T15 Ti150P Ti ＞80
TSF2-1612 ELS-G400M-10 Au400M Au ＞80
TSF2-1613 ELS-G200M-10 Au200M Au ＞80
TSF2-1614 ELS-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
エラスチックウェッティフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1701 ELW-C075 Cu75P Cu ＞80
TSF2-1702 ELW-C10 Cu100P Cu ＞80
TSF2-1703 ELW-C15 Cu150P Cu ＞80
TSF2-1704 ELW-M05 Mo50P Mo ＞80
TSF2-1705 ELW-M10 Mo100P Mo ＞80
TSF2-1706 ELW-N10 Ni100P Ni ＞80
TSF2-1707 ELW-T10 Ti100P Ti ＞80
TSF2-1708 ELW-G200M-10 Au200M Au ＞80
TSF2-1709 ELW-P200M-10 Pt200M Pt ＞80
ハイスタビリティカーボンフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1801 HSH-C10 Cu100P Cu ＞70
TSF2-1802 HSH-M10 Mo100P Mo ＞70
TSF2-1803 HSH-N10 Ni100P Ni ＞70
TSF2-1804 HSH-T10 Ti100P Ti ＞70
TSF2-1805 HSH-G200M-10 Au200M Au ＞70
TSF2-1806 HSU-C10 Cu100P Cu ＞70
TSF2-1807 HSS-C075 Cu75P Cu ＞70
ハイレゾカーボンフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-1901 HRC-C10 Cu100P Cu ＞70
TSF2-1902 HRC-M10 Mo100P Mo ＞70
TSF2-1903 HRC-N10 Ni100P Ni ＞70
TSF2-1904 HRC-T10 Ti100P Ti ＞70
TSF2-1905 HRC-G200M Au200M Au ＞70
ウルトラハイレゾカーボンフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2001 UHR-C10 Cu100P Cu ＞70
TSF2-2002 UHR-M10-25 Mo100P Mo ＞70
TSF2-2003 UHR-M10-10 Mo100P Mo ＞70
TSF2-2004 UHR-N10 Ni100P Ni ＞70
TSF2-2005 UHR-T10 Ti100P Ti ＞70
TSF2-2006 TSF2-2006 Au200M Au ＞70
TSF2-2007 UHR-G200M-10 Au200M Au ＞70
スーパーハイレゾカーボンフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2101 SHR-C075 Cu75P Cu ＞70
TSF2-2102 SHR-M05-25 Mo50P Mo ＞70
TSF2-2103 SHR-M05-10 Mo50P Mo ＞70
TSF2-2104 SHR-G400M-25 Au400M Au ＞70
TSF2-2105 SHR-G400M-10 Au400M Au ＞70
ハイパーハイレゾカーボンフィルム
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2201 HHC-M05-25 Mo50P Mo ＞70
TSF2-2202 HHC-M05-10 Mo50P Mo ＞70
TSF2-2203 HHC-G400M-10 Au400M Au ＞70
カーボンフィルム（C05シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2301 C05-MGNSC10-25 MGサポート/Cu100P Cu ＞60
TSF2-2302 C05-MGNSC10-10 MGサポート/Cu100P Cu ＞60
TSF2-2303 C05-MGNSM10-25 MGサポート/Mo100P Mo ＞60
TSF2-2304 C05-MGNSM10-10 MGサポート/Mo100P Mo ＞60
カーボンフィルム（C10シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2305 C10-C075-25 Cu75P Cu ＞60
TSF2-2306 C10-C075-10 Cu75P Cu ＞60
TSF2-2307 C10-M05-25 Mo50P Mo ＞60
TSF2-2308 C10-M05-10 Mo50P Mo ＞60
TSF2-2309 C10-G400M-25 Au400M Au ＞60
TSF2-2310 C10-G400M-10 Au400M Au ＞60
カーボンフィルム（C20シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2311 C20-C10-25 Cu100P Cu ＞60
TSF2-2312 C20-C10-10 Cu100P Cu ＞60
TSF2-2313 C20-M10-25 Mo100P Mo ＞60
TSF2-2314 C20-M10-10 Mo100P Mo ＞60
TSF2-2315 C20-N10-25 Ni100P Ni ＞60
TSF2-2316 C20-N10-10 Ni100P Ni ＞60
TSF2-2317 C20-T10-25 Ti100P Ti ＞60
TSF2-2318 C20-T10-10 Ti100P Ti ＞60
TSF2-2319 C20-G400M-25 Au400M Au ＞60
TSF2-2320 C20-G400M-25 Au400M Au ＞60
シリコンフィルム（S05シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2401 S05-MGNSC10-10 MGサポート/Cu100P Cu ＞60
TSF2-2402 S05-MGNSM10-10 MGサポート/Mo100P Mo ＞60
シリコンフィルム（S05シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2403 S10-C075-10 Cu75P Cu ＞60
TSF2-2404 S10-M05-10 Mo50P Mo ＞60
ゲルマニウムフィルム（G05シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2501 G05-MGNSC10-25 MGサポート/Cu100P Cu ＞60
TSF2-2502 G05-MGNSC10-10 MGサポート/Cu100P Cu ＞60
TSF2-2503 G05-MGNSM10-25 MGサポート/Mo100P Mo ＞60
TSF2-2504 G05-MGNSM10-10 MGサポート/Mo100P Mo ＞60
ゲルマニウムフィルム（G10シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2505 G10-C075-25 Cu75P Cu ＞60
TSF2-2506 G10-C075-10 Cu75P Cu ＞60
TSF2-2507 G10-M05-25 Mo50P Mo ＞60
TSF2-2508 G10-M05-10 Mo50P Mo ＞60
ゲルマニウムフィルム（G20シリーズ）
品番		 製品名称 使用グリッド グリッド素材 使用可能保証孔率
（％）
TSF2-2509 G20-C10-25 Cu100P Cu ＞60
TSF2-2510 G20-C10-10 Cu100P Cu ＞60
TSF2-2511 G20-M10-25 Mo100P Mo ＞60
TSF2-2512 G20-M10-10 Mo100P Mo ＞60

４-８　プラスチック支持膜の諸特性

　ご注意：支持膜のような極薄膜では各種耐性が表中の数値とは若干異なる場合が考えられますので、下記テーブルは参考としてご利用ください。

ご利用に当たっては、下記注意事項を参考にして事前に実際の試料処理を試し、支持膜の耐性をご確認ください。

● 本テーブルの薬品耐性には、文献から得た結果（黒色表記の〇、☓で表記）と、実際に支持膜を各種溶媒に5分間浸漬した後で光学顕微鏡下で状態変化（破れ、溶解など）の有無を確認した結果（赤色表記の〇、☓で表記）とを記載しています。
　　　〇、〇：　 耐性ありを示します。
　　　☓、 ☓ ：　 耐性なしを示します。

● 上記状態変化の他に、膨潤、一部溶解による膜厚の不均一、微小破れやシミの発生など、TEM観察でなければ確認できない変化も発生する場合がありますので、今後は順次TEMによる評価も加味したテーブルに仕上げて行く予定です。

● なお、全ての溶媒についての確認をしているわけではありませんので、各製品をご使用の前に、実際にご利用される有機溶媒での耐性評価をご確認ください。

● 実評価の結果（〇、☓で表記）が文献結果とは異なるケースもありますが、超薄膜になるとバルクでは見られないダメージが発生するなどバルクよりも耐性が減少しているケースもあり、逆にカーボン補強を施しているために耐性が向上しているケースもあると思われます。

● 本特性は、各溶媒が室温時のものです。処理温度により特性は変化しますのでご注意ください。

● 酸やアルカリ耐性はすべて文献から得た結果を示しています。
　・酸やアルカリに強い支持膜としてフォルムバールやブチラールが挙げられます。
　・酸やアルカリを使用する際はグリッド材料の耐性も考慮することが必要です。酸やアルカリに強いグリッド材料はAuやPtです。

● 製品のご使用に当たっては、実際のサンプリング条件での試用により、事前に支持膜の耐性をご確認ください。

製品名 マイクログリッド グラッシーフィルム コロジオンフィルム スライドフィルム
プラスチック材料 酢酸酪酸セルロース 非結晶性高分子 酢酸セルロース トリアセチルセルロース
膜構成 カーボン膜との2層構造 カーボン膜との2層構造 カーボン膜との2層構造 カーボン膜との2層構造
プラスチックの結晶性 結晶性 非結晶性 結晶性 結晶性
プラスチックの比重 1.20 1.04 1.35 1.34
プラスチックの融点（℃） 140 230 170 230～300
機械的強度 ○ 〇 △ ◎
表面の親水性 × × × ×
メタノール耐性 ○ ー × ×
エタノール耐性 ○ ー 〇 ×
その他のアルコール耐性 ほぼ○ ー ほぼ○ ほぼ○
アセトン耐性 × × × ○
その他のケトン類薬品耐性 ほぼ× ほぼ× ほぼ× ほぼ○
ベンゼン耐性 ○ × ○ ○
トルエン耐性 ○ ー ○ ○
キシレン耐性 ○ × ○ ○
その他の芳香族薬品耐性 ほぼ○ ほぼ× ほぼ○ ほぼ○
エチルエーテル耐性 ○ ー × ○
その他のエーテル類耐性 ほぼ× ー ほぼ× ほぼ○
酢酸メチル耐性 × × × ×
酢酸エチル耐性 × ー × ○
その他の酢酸エステル類耐性 ほぼ× ほぼ× ほぼ× ほぼ○
塩化メチレン耐性 × × × ×
二塩化エチレン耐性 × × × ×
その他のハロゲン類薬品耐性 ほぼ× ほぼ× ほぼ× ほぼ×
強酸性薬品耐性 × × × ×
弱酸性薬品耐性 ほぼ○ ほぼ○ ほぼ○ ○
強アルカリ性薬品耐性 × ー × ×
弱アルカリ性薬品耐性 × ー × ×
プラスチック材料 ポリビニルフォルマル トリアセチルセルロース トリアセチルセルロース ポリビニルブチラール
膜構成 カーボン膜との2層構造 SiO/C膜との3層構造 カーボン膜との2層構造 カーボン膜との2層構造
プラスチックの結晶性 結晶性 結晶性 結晶性 結晶性
プラスチックの比重 1.25 2.13(SiO)
1.34(TAC)		 1.34 1.25
プラスチックの融点（℃） 140～150 1700(SiO)
230～300(TAC)		 230～300 140～200
機械的強度 ○ ◎ ◎ ○
表面の親水性 × △ × ○
メタノール耐性 ○ × × ×
エタノール耐性 ○ × × ×
その他のアルコール耐性 ほぼ○ ほぼ○ ほぼ○ ほぼ×
アセトン耐性 × ○ ○ ×
その他のケトン類薬品耐性 ほぼ○ ほぼ○ ほぼ○ △
ベンゼン耐性 ○ ○ ○ ×
トルエン耐性 × ○ ○ ×
キシレン耐性 × ○ ○ ×
その他の芳香族薬品耐性 ほぼ○ ほぼ○ ほぼ○ ほぼ×
エチルエーテル耐性   ○ ○ ○
その他のエーテル類耐性 ー ほぼ× ほぼ× ほぼ×
酢酸メチル耐性 × × × ×
酢酸ェチル耐性 ○ ○ ○ ×
その他の酢酸エステル類耐性 ほぼ○ ほぼ○ ほぼ○ ほぼ×
塩化メチレン耐性 × × × ×
二塩化エチレン耐性 × × × ×
その他のハロゲン類薬品耐性 ほぼ× ほぼ× ほぼ× ほぼ×
強酸性薬品耐性 ○ × × ○
弱酸性薬品耐性 ○ ○ ○ ○
強アルカリ性薬品耐性 ○ × × ○
弱アルカリ性薬品耐性 ○ × × ○

４-９　支持膜とマイクログリッドの選び方

　支持膜やマイクログリッドの種類がたくさんあってどれを選べばよいかわからないときには、下表を参考にして、ご利用の目的や、お客様のサンプル形状にとって最適な膜をお選びください。