*技術情報・第3項に記載の「ステム製品(試料支持膜およびマイクログリッド)ご利用上のご注意」を必ずご参照ください。
4.支持膜やマイクログリッドに関する製品技術情報
4-1 高分解能観察のための支持膜に要求される事柄
1. 試料ドリフトが少ないこと
*試料ドリフトの原因となる要素として以下のことが考えられます。
ⅰ)グリッド(メッシュ)に貼られた支持膜の状態:剥がれ、破れ、しわ、たるみ、異物などがあると試料ドリフトが生じます。
ⅱ)電子線照射に伴う支持膜の状態変化:温度変化、ビーム損傷、チャージアップ、などの状態変化が大きいほど試料ドリフトも大きくなります。
*上に示したドリフトの原因となる要素の無い良質の支持膜を利用することが高分解能観察には必須です。
*マイクログリッドの網目構造は試料ドリフトを小さく抑える効果を持っています。
マイクログリッドを利用できる形状を持つ試料であればその利用を薦めます。
2. 支持膜厚さが薄いこと
高分解能観察では、試料支持膜内での電子線の散乱を極力減らすことが大事です。基本的には、観察対象となる試料サイズと同等以下の厚さを持つ試料支持膜を利用することが必要です。また、マイクログリッドを利用できる形状を持つ試料であれば支持膜の貼られていない孔の部分(厚さ=0)で試料の観察が可能です。その意味でマイクログリッドは理想的な試料支持膜と言えます。
*観察目的に対する支持膜厚さの目安
ⅰ)極高分解能観察用:厚さ: 4~10nm、(ステム製品:各種マイクログリッド、SHRC、UHRC、C10、Ge05、Ge10、S10)
ⅱ)超高分解能観察用:厚さ: 5~15nm、(ステム製品:SHRC、UHRC、HRC、C10、Ge05、Ge10、S10)
ⅲ)高分解能観察用:厚さ:15~50nm、(ステム製品:HRC、C20、Ge20、ELS)
3.支持膜材料密度が低いこと
一般的には低密度の高分子薄膜を低密度のカーボン真空蒸着膜で補強した支持膜が多用されていますが、高分解能観察用としては高分子薄膜を利用せずに低密度のカーボン、Si、SiO、SiO2、SiC、SiN、Geなどの薄膜のみで作製された支持膜が適しています。
また、マイクログリッドを利用できる形状を持つ試料であれば支持膜の貼られていない孔の部分(密度=0)で試料の観察が可能です。その意味でマイクログリッドは理想的な試料支持膜と言えます。
4.試料汚染(コンタミネーション)が少ないこと
TEM観察中に支持膜と試料自身から発生するハイドロカーボン分子は試料汚染の原因となります。試料汚染を防ぐには、①TEM観察前に支持膜や試料をプラズマ照射したり、②支持膜や試料に物理的・化学的なダメージを与えない範囲での加熱処理を施したり、などの前処理が効果的です。
4-2 元素分析利用時の注意事項と特注対応
1. 使用する支持膜を事前に分析してから、目的の分析を行う事をお勧めいたします。
精度の高い分析をするには、システムピークをはじめ、グリッド(メッシュ)、支持膜、サポートマイクログリッドなどの試料支持体の構成元素に起因して発生するスペクトル、さらに試料汚染(コンタミネーション)からのスペクトルとの重なりを避けるようにすることが基本です。しかし現実には、これらのスペクトルの発生を避けるのは大変困難です。そのために、本来の元素分析に先立ってグリッド(メッシュ)、支持膜、サポートマイクログリッドから発生するスペクトルを把握しておくことが大事です。
2. ステムで標準的に使用している支持膜製品から発生するスペクトル
ステムで標準的に使用しているグリッドの材料はCuあるいはMoですので、元素分析時にはCu、あるいはMoが検出されることがあります。
また、試料支持膜(カーボン、ゲルマニウム、シリコン、各種のプラスチックが使われています)由来のスペクトルも検出されます。プラスチック部分からは材料の種類により異なりますが、カーボン、酸素、窒素が検出されます。
3. ゲルマニウム支持膜、アモルファスシリコン支持膜
カーボンのスペクトルを発生させない試料支持体としてゲルマニウムやアモルファスシリコンの支持膜をお勧めいたします。しかし、試料汚染(コンタミネーション)が付着しますとそこからカーボンスペクトルが検出されてしまいますので、試料汚染の無い(コンタミネーションフリー)状態を保って分析することが大切です。
4.特注製品の対応
ⅰ)Cuスペクトルの発生を嫌う分析時には、グリッド(メッシュ)材料をCuからMo,Ni,Ti,Au,Al,あるいはSUSに変えることも良い解決手段となります。グリッド(メッシュ)材料をご指定いただければ特注製品として対応させていただきます。
ⅱ)その他にも、お客様の分析目的に合う支持膜材料やグリッド(メッシュ)材料をご指定いただければ特注製品として対応させていただくことも可能ですのでご相談ください。
4-3 試料冷却に利用する支持膜、マイクログリッドについて
*ステム製マイクログリッドの一般知識については、4-6節を参照ください。
1. 真空中での試料冷却には多くの試料支持膜とマイクログリッド製品を使用することができます。
ⅰ)冷却スピード(降温スピード)が3℃/分程度であれば、多くの支持膜が使用可能と思われますが、グリッド(メッシュ)、支持膜、試料の熱膨張率の違いが、全体の形状変化(ドリフト、支持膜の剥がれ・やぶれ等)を引き起こします。
ⅱ)マイクログリッドについても多くのタイプが使用できますが、支持膜と同様の不具合を招く場合があります。
ⅲ)カーボン支持膜、ゲルマニウム支持膜、アモルファスシリコン支持膜は、プラスチック層がないので最も安定してご使用いただけます。
2. 予備実験
実際の使用に当たっては、予備実験を行って適切な冷却速度や冷却温度を確認の上、ご使用ください。
3. 脱水処理
ⅰ)支持膜、マイクログリッド、グリッド(メッシュ)に付着している水分を除去する場合は、真空中で3~5℃/分の昇温スピードで150℃に加熱し、そのまま30~90分間放置して脱水処理をしてください。
ⅱ)なお、その際には150℃の加熱にに耐えられない支持膜やマイクログリッド製品は避けていただきますよう、ご注意ください。
4-4 試料加熱に利用する支持膜、マイクログリッドについて
*ステム製マイクログリッドの一般知識については、4-6節を参照ください。
1. 真空中での耐熱温度は支持膜やマイクログリッド゙の材料と構造、グリッド(メッシュ)材料に依存します。
ⅰ)支持膜やマイクログリッド゙の材料と構造、グリッド(メッシュ)材料により、支持膜の耐熱限界に違いがありますので、希望する加熱温度に対応できる製品を選択してください。
ⅱ)高分子材料を使用しているエラスチックカーボン支持膜は、高分子の材料特性からは150℃が加熱限界となりますが、厚さ20~25nmのカーボン蒸着層が積層されているためか、昇温スピードを3℃/分程度に制御すれば300℃まで加熱しても破損せずに使用できたとのユーザー様からの情報もあります。
ⅲ)カーボン支持膜、ゲルマニウム支持膜、アモルファスシリコン支持膜は、プラスチック層がないのでより高い加熱温度(700~1,000℃)までご使用いただけます。
ⅳ)マイクログリッドについては、ROCが500℃程度、RTMが1,000℃程度、RAPが700℃程度の耐熱性を備えています。
2. 予備実験
ⅰ)いずれの支持膜/マイクログリッドも最初のご使用時には耐熱性確認のための予備実験を行ってください。
ⅱ)まずは3~5℃/分の 昇温スピードで加熱し、支持膜破損の生じない昇温スピードと上限温度を確認した上で、本格的に使用してください。
4-5 支持膜の受注生産(特注製品)について
親水性支持膜、元素分析用支持膜、試料加熱用支持膜、耐薬品性支持膜、耐圧性支持膜などの特殊製品については、お客様よりご使用目的の詳細情報の提供を受けて、ご相談の上、あるいはご提案の上、仕様、価格、納期を決めて、お見積もりを提出いたします。
なお、納品後、許可をいただいた上で、公開できる内容で、特殊製品情報として、弊社ホームページに掲載させていただくことがあります。
ⅰ)親水性支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Cu、他 |
---|---|
支持膜材料候補 | シリコンモノオキサイド(SiO):弱親水性、空気中で酸化し易く、表面はSiO2となる。 シリコンオキサイド(SiO2):親水性 ポリビニールブチラール(PVB):親水性 その他 |
ⅱ)分析用支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Cu、Mo、Pt、Ni、Ti、Al、Au、他 |
---|---|
支持膜材料候補 | シリコンモノオキサイド(SiO) シリコンオキサイド(SiO2) シリコンカーバイト(SiC) ボロンナイトライド(BN) アルミニウムオキサイド(Al2O3) アモルファスシリコン(α-Si) その他の金属材料、無機材料 |
ⅲ)高分解能観察用支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Cu、Mo、他 |
---|---|
支持膜材料候補 | ゲルマニウム(Ge) アモルファスシリコン(α-Si) カーボン(C) ボロンナイトライド(BN) マイクログリッド/カーボン補強 その他 |
ⅳ)耐薬品性支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Pt、Au、他 |
---|---|
支持膜材料候補 | シリコンモノオキサイド(SiO) シリコンオキサイド(SiO2) カーボン(C) トリアフォール/カーボン補強 :メタノール、エタノールに耐性があります。 5万倍程度までの観察に利用できます。 マイクログリッド/カーボン補強 その他 |
ⅴ)冷却用支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Cu、Al、Au、他 |
---|---|
支持膜材料候補 | ゲルマニウム(Ge) カーボン(C) ボロンナイトライド(BN) マイクログリッド/カーボン(厚膜)補強+Au他 その他 |
ⅵ)加熱用支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Mo、Pt、他 |
---|---|
支持膜材料候補 | シリコンモノオキサイド(SiO) シリコンオキサイド(SiO2) シリコンナイトライド(SiN) シリコンカーバイト(SiC) ボロンナイトライド(BN) マイクログリッド/カーボン(厚膜)補強 その他 |
ⅶ)環境セル用耐圧性支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Cu、Pt、Mo、他 (形状は別途お打合せにより決定) |
---|---|
支持膜材料候補 | トリアセチルセルロース(TAC) カーボン(C) シリコンオキサイド(SiO2) シリコンナイトライド(SiN) シリコンカーバイト(SiC) その他 |
ⅷ)三次元観察用支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Cu、他 (形状は別途お打合せにより決定) |
---|---|
支持膜材料候補 | トリアセチルセルロース(TAC) マイクログリッド/カーボン補強 その他 |
ⅸ)SEM/STEM用支持膜の受注生産の候補
グリッド(メッシュ)材料候補 | Cu、Mo、Pt、Ni、Ti、Al、Au、他 (形状は別途お打合せにより決定) |
---|---|
支持膜材料候補 | 非結晶性プラスチック ゲルマニウム(Ge) カーボン(C) マイクログリッド/カーボン補強 その他 |
ⅹ)特殊グリッドへの薄膜貼付の受注生産について
特殊形状のTEMグリッド(メッシュ)への 薄膜貼付 |
2.3mmΦ、3.0㎜Φ、大口径、単孔、スリット、などの電子顕微鏡用各種材料グリッド(メッシュ)にご希望の薄膜を貼付いたします。詳細についてはご相談ください。 (注)ご依頼の内容によってはご希望に添えない場合があります。 |
---|---|
その他の支持台候補 | 薄膜センサー、薄膜フィルターなど、電子顕微鏡以外の特殊用途の部品に薄膜を貼付いたします。詳細についてはご相談ください。 (注)ご依頼の内容によってはご希望に添えない場合があります。 |
4-6 ステム製マイクログリッドの一般知識
マイクログリッドは、TEM,STEM,SEM観察用微細試料の支持体として使用する多孔性の支持膜です。マイクロメッシュ、レーシィフィルム、ホーリィフィルムなどとも呼ばれます。代表的な作製法として坂田法(参考文献1)、深見法(参考文献2)があります。
弊社マイクログリッドのTEM画像と特性を下に示します。
開口率が低く膜部が太い汎用マイクログリッド 開口率が高く膜部が細いレース状のマイクログリッド
用途 | ・TEM(加速電圧:75~300kV )やSEM/STEMで観察する試料の支持に利用できます。 ・各種試料支持膜と同様のサンプル支持・保持ができます。 ・特に、粉体試料(粒状、板状、針状等)、微粒子状試料、切片等の薄膜状試料の支持に有効です。 |
---|---|
理想的支持膜を実現 | ・孔部分は、試料の下に支持膜が存在しないため、理想的な試料支持の状況を作り出すことができます。 |
作製法 | ・弊社のマイクログリッドは、Self-perforated micro plastic grid 法(参考文献2)により作製されています。 |
材料 | ・トリアフォール(酢酸酪酸セルロース) |
形状 | ・多孔性支持膜(孔の開いた膜) ・開口率によりネット状やレース状の膜孔形状を示します。 |
孔径 | ・0.1~15μmΦ |
開口率 | ・孔部面積の膜全面積に対する比率:10~90% |
厚さ | ・孔部分には支持膜がありません(0nm) ・膜部の厚さは、20~30nmです。 |
カーボン補強 | ・TEM、STEM、SEMによる観察時の電子線ダメージや帯電を防止するために、標準品では厚さ10~15nmのカーボン蒸着を施しています。 ・また、各種の耐性を持つ製品(Rシリーズ)では厚さ60~80nmのカーボン蒸着を施しています。 |
(参考文献)
1) S. Sakata: J. Electron Microsc., 6, 75 (1958)
2) A. Fukami, K. Adachi: J. Electron Microsc., 14, 112 (1965)
4-7 使用可能保障孔率について
(使用可能保証孔率とは)
・ステムでは、支持膜およびマイクログリッドについて、破れなどがない外観的に使用可能なグリッド(メッシュ)孔数の全グリッド(メッシュ)孔に対する割合を使用可能保障孔率と定義し、それぞれの支持膜およびマイクログリッドに対して下表のように数値を定めています。
(不適合製品への対応)
・保証率に満たない不適合製品が混入していた場合は、交換により対応させていただきます。
・交換につきましては、納品後に適切な保管管理をしていただいた上で、2ヶ月以内のご連絡に対して対応させていただきます。
(これ以降のご連絡に対しましては交換対応ができませんことをご了承ください。)
(製品ご利用上の注意事項)
・支持膜やマイクログリッドは“生もの”とご理解いただき、ご購入後3ヶ月以内(表面親水性支持膜は1ヶ月以内)のご使用をお勧めします。
・この期間、製品を室内に放置した状態で保管されますと支持膜の劣化が生じて保証孔率を維持することが困難になる場合があり、ご利用にあたってご不満が出たり、ご使用に支障をきたす場合がありますのでご注意ください。
・そのため、1ヶ月程度の期間であればデシケータ内で製品を保存してくださるようお願いします。また、1か月以上の長期間にわたって製品を保管される場合には、真空恒温槽あるいは不活性ガス雰囲気の恒温槽内で定温保存(15~20℃の間の一定温度)されますようお願いします。
1.マイクログリッドの使用可能保証孔率
マイクログリッドの使用可能保証孔率を下表に示します。各製品の詳細については製品情報ならびに価格表をご覧ください。
品番:NUシリーズ | 製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
---|---|---|---|---|
TMG2-1001 | NU-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TMG2-1002 | NU-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
品番:NPシリーズ | 製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TMG2-2001 | NP-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TMG2-2002 | NP-C13 | Cu130P | Cu | >80 |
TMG2-2003 | NP-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TMG2-2004 | NP-C17 | Cu170P | Cu | >80 |
TMG2-2005 | NP-C20 | Cu200P | Cu | >80 |
TMG2-2006 | NP-C30 | Cu300P | Cu | >80 |
TMG2-2007 | NP-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TMG2-2008 | NP-M15 | Mo150P | Mo | >80 |
TMG2-2009 | NP-N15 | Ni150P | Ni | >80 |
TMG2-2010 | NP-T15 | Ti150P | Ti | >80 |
TMG2-2011 | NP-T20 | Ti200P | Ti | >80 |
TMG2-2012 | NP-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
TMG2-2013 | NP-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
品番:NSシリーズ | 製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TMG2-3001 | NS-C075 | Cu75P | Cu | >80 |
TMG2-3002 | NS-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TMG2-3003 | NS-C13 | Cu130P | Cu | >80 |
TMG2-3004 | NS-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TMG2-3005 | NS-C17 | Cu170P | Cu | >80 |
TMG2-3006 | NS-C20 | Cu200P | Cu | >80 |
TMG2-3007 | NS-C30 | Cu300P | Cu | >80 |
TMG2-3008 | NS-M05 | Mo50P | Mo | >80 |
TMG2-3009 | NS-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TMG2-3010 | NS-M15 | Mo150P | Mo | >80 |
TMG2-3011 | NS-N10 | Ni100P | Ni | >80 |
TMG2-3012 | NS-N15 | Ni150P | Ni | >80 |
TMG2-3013 | NS-T10 | Ti100P | Ti | >80 |
TMG2-3014 | NS-T15 | Ti150P | Ti | >80 |
TMG2-3015 | NS-T20 | Ti200P | Ti | >80 |
TMG2-3016 | NS-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
TMG2-3017 | NS-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
品番:NHシリーズ | 製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TMG2-4001 | NH-C075 | Cu75P | Cu | >80 |
TMG2-4002 | NH-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TMG2-4003 | NH-C13 | Cu130P | Cu | >80 |
TMG2-4004 | NH-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TMG2-4005 | NH-C17 | Cu170P | Cu | >80 |
TMG2-4006 | NH-C20 | Cu200P | Cu | >80 |
TMG2-4007 | NH-C30 | Cu300P | Cu | >80 |
TMG2-4008 | NH-M05 | Mo50P | Mo | >80 |
TMG2-4009 | NH-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TMG2-4010 | NH-M15 | Mo150P | Mo | >80 |
TMG2-4011 | NH-N10 | Ni100P | Ni | >80 |
TMG2-4012 | NH-N15 | Ni150P | Ni | >80 |
TMG2-4013 | NH-T10 | Ti100P | Ti | >80 |
TMG2-4014 | NH-T15 | Ti150P | Ti | >80 |
TMG2-4015 | NH-T20 | Ti200P | Ti | >80 |
TMG2-4016 | NH-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
TMG2-4017 | NH-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
品番:NLシリーズ | 製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TMG2-5001 | NL-C20 | Cu200P | Cu | >70 |
TMG2-5002 | NL-C30 | Cu300P | Cu | >70 |
TMG2-5003 | NL-C50 | Cu500P | Cu | >70 |
TMG2-5004 | NL-C2035 | Cu2035 | Cu | >70 |
TMG2-5005 | NL-C3560 | Cu3560 | Cu | >70 |
TMG2-5006 | NL-CsH05 | 0.5㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TMG2-5007 | NL-CsH10 | 1.0㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TMG2-5008 | NL-CsH15 | 1.5㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TMG2-5009 | NL-CsS0618 | 0.6㎜×1.8㎜単スロット | Cu | 100 |
TMG2-5010 | NL-CsS1018 | 1.0㎜×1.8㎜単スロット | Cu | 100 |
TMG2-5011 | NL-Ti20 | Ti200P | Ti | >70 |
TMG2-5012 | NL-G100M-10 | NL-G100M-10 | Au | >70 |
品番:Rシリーズ | 製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TMG2-6001 | RO-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TMG2-6002 | RO-N10 | Ni100P | Ni | >80 |
TMG2-6003 | RO-T10 | Ti100P | Ti | >80 |
TMG2-6004 | RT-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TMG2-6005 | RA-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
TMG2-6006 | RS-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
2.各種支持膜の使用可能保証孔率
各種支持膜の使用可能保証孔率を下表に示します。各製品の詳細については製品情報ならびに価格表をご覧ください。
グラッシーフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
---|---|---|---|---|
TSF2-1001 | GLF-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TSF2-1002 | GLF-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
コロジオンフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1101 | COL-C075 | Cu75P | Cu | >80 |
TSF2-1102 | COL-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TSF2-1103 | COL-C13 | Cu130P | Cu | >80 |
TSF2-1104 | COL-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TSF2-1105 | COL-C17 | Cu170P | Cu | >80 |
TSF2-1106 | COL-C20 | Cu200P | Cu | >80 |
TSF2-1107 | COL-C30 | Cu300P | Cu | >80 |
TSF2-1108 | COL-C50 | Cu500P | Cu | >80 |
TSF2-1109 | COL-2035 | Cu2035 | Cu | >80 |
TSF2-1110 | COL-3560 | Cu3560 | Cu | >80 |
TSF2-1111 | COL-CsH05 | 0.5㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TSF2-1112 | COL-CsH10 | 1.0㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TSF2-1113 | COL-CsH15 | 1.5㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TSF2-1114 | COL-CsS0618 | 0.6㎜×1.8㎜単スロット | Cu | 100 |
TSF2-1115 | COL-CsS1018 | 1.0㎜×1.8㎜単スロット | Cu | 100 |
TSF2-1116 | COL-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TSF2-1117 | COL-M15 | Mo150P | Mo | >80 |
TSF2-1118 | COL-N10 | Ni100P | Ni | >80 |
TSF2-1119 | COL-N15 | Ni150P | Ni | >80 |
TSF2-1120 | COL-T10 | Ti100P | Ti | >80 |
TSF2-1121 | COL-T15 | Ti150P | Ti | >80 |
TSF2-1122 | COL-T20 | Ti200P | Ti | >80 |
TSF2-1123 | COL-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
TSF2-1124 | COL-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
スライドフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1201 | TAC-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TSF2-1202 | TAC-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TSF2-1203 | TAC-C20 | Cu200P | Cu | >80 |
TSF2-1204 | TAC-C30 | Cu300P | Cu | >80 |
TSF2-1205 | TAC-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TSF2-1206 | TAC-M15 | Mo150P | Mo | >80 |
フォルムバールフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1301 | PVF-C075 | Cu75P | Cu | >80 |
TSF2-1302 | PVF-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TSF2-1303 | PVF-C13 | Cu130P | Cu | >80 |
TSF2-1304 | PVF-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TSF2-1305 | PVF-C17 | Cu170P | Cu | >80 |
TSF2-1306 | PVF-C20 | Cu200P | Cu | >80 |
TSF2-1307 | PVF-C30 | Cu300P | Cu | >80 |
TSF2-1308 | PVF-C50 | Cu500P | Cu | >80 |
TSF2-1309 | PVF-2035 | Cu2035 | Cu | >80 |
TSF2-1310 | PVF-3560 | Cu3560 | Cu | >80 |
TSF2-1311 | PVF-CsH05 | 0.5㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TSF2-1312 | PVF-CsH10 | 1.0㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TSF2-1313 | PVF-CsH15 | 1.5㎜Φ単孔メッシュ | Cu | 100 |
TSF2-1314 | PVF-CsS0618 | 0.6㎜×1.8㎜単スロット | Cu | 100 |
TSF2-1315 | PVF-CsS1018 | 1.0㎜×1.8㎜単スロット | Cu | 100 |
TSF2-1316 | PVF-M05 | Mo50P | Mo | >80 |
TSF2-1317 | PVF-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TSF2-1318 | PVF-M15 | Mo150P | Mo | >80 |
TSF2-1319 | PVF-N10 | Ni100P | Ni | >80 |
TSF2-1320 | PVF-N15 | Ni150P | Ni | >80 |
TSF2-1321 | PVF-T10 | Ti100P | Ti | >80 |
TSF2-1322 | PVF-T15 | Ti150P | Ti | >80 |
TSF2-1323 | PVF-T20 | Ti200P | Ti | >80 |
TSF2-1324 | PVF-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
TSF2-1325 | PVF-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
TSF2-1326 | PVF-MGNSC10 | MGサポート/Cu100P | Cu | >80 |
TSF2-1327 | PVF-MGNSM10 | MGサポート/Mo100P | Mo | >80 |
TSF2-1328 | PVF-MGNSG200M-10 | MGサポート/Au200M | Au | >80 |
モノックスコンポフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1501 | MCP-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
エラスチックカーボンフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1601 | ELS-C075 | Cu75P | Cu | >80 |
TSF2-1602 | ELS-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TSF2-1603 | ELS-C13 | Cu130P | Cu | >80 |
TSF2-1604 | ELS-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TSF2-1605 | ELS-M05 | Mo50P | Mo | >80 |
TSF2-1606 | ELS-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TSF2-1607 | ELS-M15 | Mo150P | Mo | >80 |
TSF2-1608 | ELS-N10 | Ni100P | Ni | >80 |
TSF2-1609 | ELS-N15 | Ni150P | Ni | >80 |
TSF2-1610 | ELS-T10 | Ti100P | Ti | >80 |
TSF2-1611 | ELS-T15 | Ti150P | Ti | >80 |
TSF2-1612 | ELS-G400M-10 | Au400M | Au | >80 |
TSF2-1613 | ELS-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
TSF2-1614 | ELS-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
エラスチックウェッティフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1701 | ELW-C075 | Cu75P | Cu | >80 |
TSF2-1702 | ELW-C10 | Cu100P | Cu | >80 |
TSF2-1703 | ELW-C15 | Cu150P | Cu | >80 |
TSF2-1704 | ELW-M05 | Mo50P | Mo | >80 |
TSF2-1705 | ELW-M10 | Mo100P | Mo | >80 |
TSF2-1706 | ELW-N10 | Ni100P | Ni | >80 |
TSF2-1707 | ELW-T10 | Ti100P | Ti | >80 |
TSF2-1708 | ELW-G200M-10 | Au200M | Au | >80 |
TSF2-1709 | ELW-P200M-10 | Pt200M | Pt | >80 |
ハイスタビリティカーボンフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1801 | HSH-C10 | Cu100P | Cu | >70 |
TSF2-1802 | HSH-M10 | Mo100P | Mo | >70 |
TSF2-1803 | HSH-N10 | Ni100P | Ni | >70 |
TSF2-1804 | HSH-T10 | Ti100P | Ti | >70 |
TSF2-1805 | HSH-G200M-10 | Au200M | Au | >70 |
TSF2-1806 | HSU-C10 | Cu100P | Cu | >70 |
TSF2-1807 | HSS-C075 | Cu75P | Cu | >70 |
ハイレゾカーボンフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-1901 | HRC-C10 | Cu100P | Cu | >70 |
TSF2-1902 | HRC-M10 | Mo100P | Mo | >70 |
TSF2-1903 | HRC-N10 | Ni100P | Ni | >70 |
TSF2-1904 | HRC-T10 | Ti100P | Ti | >70 |
TSF2-1905 | HRC-G200M | Au200M | Au | >70 |
ウルトラハイレゾカーボンフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2001 | UHR-C10 | Cu100P | Cu | >70 |
TSF2-2002 | UHR-M10-25 | Mo100P | Mo | >70 |
TSF2-2003 | UHR-M10-10 | Mo100P | Mo | >70 |
TSF2-2004 | UHR-N10 | Ni100P | Ni | >70 |
TSF2-2005 | UHR-T10 | Ti100P | Ti | >70 |
TSF2-2006 | TSF2-2006 | Au200M | Au | >70 |
TSF2-2007 | UHR-G200M-10 | Au200M | Au | >70 |
スーパーハイレゾカーボンフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2101 | SHR-C075 | Cu75P | Cu | >70 |
TSF2-2102 | SHR-M05-25 | Mo50P | Mo | >70 |
TSF2-2103 | SHR-M05-10 | Mo50P | Mo | >70 |
TSF2-2104 | SHR-G400M-25 | Au400M | Au | >70 |
TSF2-2105 | SHR-G400M-10 | Au400M | Au | >70 |
ハイパーハイレゾカーボンフィルム 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2201 | HHC-M05-25 | Mo50P | Mo | >70 |
TSF2-2202 | HHC-M05-10 | Mo50P | Mo | >70 |
TSF2-2203 | HHC-G400M-10 | Au400M | Au | >70 |
カーボンフィルム(C05シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2301 | C05-MGNSC10-25 | MGサポート/Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2302 | C05-MGNSC10-10 | MGサポート/Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2303 | C05-MGNSM10-25 | MGサポート/Mo100P | Mo | >60 |
TSF2-2304 | C05-MGNSM10-10 | MGサポート/Mo100P | Mo | >60 |
カーボンフィルム(C10シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2305 | C10-C075-25 | Cu75P | Cu | >60 |
TSF2-2306 | C10-C075-10 | Cu75P | Cu | >60 |
TSF2-2307 | C10-M05-25 | Mo50P | Mo | >60 |
TSF2-2308 | C10-M05-10 | Mo50P | Mo | >60 |
TSF2-2309 | C10-G400M-25 | Au400M | Au | >60 |
TSF2-2310 | C10-G400M-10 | Au400M | Au | >60 |
カーボンフィルム(C20シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2311 | C20-C10-25 | Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2312 | C20-C10-10 | Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2313 | C20-M10-25 | Mo100P | Mo | >60 |
TSF2-2314 | C20-M10-10 | Mo100P | Mo | >60 |
TSF2-2315 | C20-N10-25 | Ni100P | Ni | >60 |
TSF2-2316 | C20-N10-10 | Ni100P | Ni | >60 |
TSF2-2317 | C20-T10-25 | Ti100P | Ti | >60 |
TSF2-2318 | C20-T10-10 | Ti100P | Ti | >60 |
TSF2-2319 | C20-G400M-25 | Au400M | Au | >60 |
TSF2-2320 | C20-G400M-25 | Au400M | Au | >60 |
シリコンフィルム(S05シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2401 | S05-MGNSC10-10 | MGサポート/Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2402 | S05-MGNSM10-10 | MGサポート/Mo100P | Mo | >60 |
シリコンフィルム(S05シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2403 | S10-C075-10 | Cu75P | Cu | >60 |
TSF2-2404 | S10-M05-10 | Mo50P | Mo | >60 |
ゲルマニウムフィルム(G05シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2501 | G05-MGNSC10-25 | MGサポート/Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2502 | G05-MGNSC10-10 | MGサポート/Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2503 | G05-MGNSM10-25 | MGサポート/Mo100P | Mo | >60 |
TSF2-2504 | G05-MGNSM10-10 | MGサポート/Mo100P | Mo | >60 |
ゲルマニウムフィルム(G10シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2505 | G10-C075-25 | Cu75P | Cu | >60 |
TSF2-2506 | G10-C075-10 | Cu75P | Cu | >60 |
TSF2-2507 | G10-M05-25 | Mo50P | Mo | >60 |
TSF2-2508 | G10-M05-10 | Mo50P | Mo | >60 |
ゲルマニウムフィルム(G20シリーズ) 品番 |
製品名称 | 使用グリッド | グリッド素材 | 使用可能保証孔率 (%) |
TSF2-2509 | G20-C10-25 | Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2510 | G20-C10-10 | Cu100P | Cu | >60 |
TSF2-2511 | G20-M10-25 | Mo100P | Mo | >60 |
TSF2-2512 | G20-M10-10 | Mo100P | Mo | >60 |
4-8 プラスチック支持膜の諸特性
ご注意:支持膜のような極薄膜では各種耐性が表中の数値とは若干異なる場合が考えられますので、下記テーブルは参考としてご利用ください。
ご利用に当たっては、下記注意事項を参考にして事前に実際の試料処理を試し、支持膜の耐性をご確認ください。
● 本テーブルの薬品耐性には、文献から得た結果(黒色表記の〇、☓で表記)と、実際に支持膜を各種溶媒に5分間浸漬した後で光学顕微鏡下で状態変化(破れ、溶解など)の有無を確認した結果(赤色表記の〇、☓で表記)とを記載しています。
〇、〇: 耐性ありを示します。
☓、 ☓ : 耐性なしを示します。
● 上記状態変化の他に、膨潤、一部溶解による膜厚の不均一、微小破れやシミの発生など、TEM観察でなければ確認できない変化も発生する場合がありますので、今後は順次TEMによる評価も加味したテーブルに仕上げて行く予定です。
● なお、全ての溶媒についての確認をしているわけではありませんので、各製品をご使用の前に、実際にご利用される有機溶媒での耐性評価をご確認ください。
● 実評価の結果(〇、☓で表記)が文献結果とは異なるケースもありますが、超薄膜になるとバルクでは見られないダメージが発生するなどバルクよりも耐性が減少しているケースもあり、逆にカーボン補強を施しているために耐性が向上しているケースもあると思われます。
● 本特性は、各溶媒が室温時のものです。処理温度により特性は変化しますのでご注意ください。
● 酸やアルカリ耐性はすべて文献から得た結果を示しています。
・酸やアルカリに強い支持膜としてフォルムバールやブチラールが挙げられます。
・酸やアルカリを使用する際はグリッド材料の耐性も考慮することが必要です。酸やアルカリに強いグリッド材料はAuやPtです。
● 製品のご使用に当たっては、実際のサンプリング条件での試用により、事前に支持膜の耐性をご確認ください。
製品名 | マイクログリッド | グラッシーフィルム | コロジオンフィルム | スライドフィルム |
---|---|---|---|---|
プラスチック材料 | 酢酸酪酸セルロース | 非結晶性高分子 | 酢酸セルロース | トリアセチルセルロース |
膜構成 | カーボン膜との2層構造 | カーボン膜との2層構造 | カーボン膜との2層構造 | カーボン膜との2層構造 |
プラスチックの結晶性 | 結晶性 | 非結晶性 | 結晶性 | 結晶性 |
プラスチックの比重 | 1.20 | 1.04 | 1.35 | 1.34 |
プラスチックの融点(℃) | 140 | 230 | 170 | 230~300 |
機械的強度 | ○ | 〇 | △ | ◎ |
表面の親水性 | × | × | × | × |
メタノール耐性 | ○ | ー | × | × |
エタノール耐性 | ○ | ー | 〇 | × |
その他のアルコール耐性 | ほぼ○ | ー | ほぼ○ | ほぼ○ |
アセトン耐性 | × | × | × | ○ |
その他のケトン類薬品耐性 | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ○ |
ベンゼン耐性 | ○ | × | ○ | ○ |
トルエン耐性 | ○ | ー | ○ | ○ |
キシレン耐性 | ○ | × | ○ | ○ |
その他の芳香族薬品耐性 | ほぼ○ | ほぼ× | ほぼ○ | ほぼ○ |
エチルエーテル耐性 | ○ | ー | × | ○ |
その他のエーテル類耐性 | ほぼ× | ー | ほぼ× | ほぼ○ |
酢酸メチル耐性 | × | × | × | × |
酢酸エチル耐性 | × | ー | × | ○ |
その他の酢酸エステル類耐性 | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ○ |
塩化メチレン耐性 | × | × | × | × |
二塩化エチレン耐性 | × | × | × | × |
その他のハロゲン類薬品耐性 | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ× |
強酸性薬品耐性 | × | × | × | × |
弱酸性薬品耐性 | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ○ | ○ |
強アルカリ性薬品耐性 | × | ー | × | × |
弱アルカリ性薬品耐性 | × | ー | × | × |
プラスチック材料 | ポリビニルフォルマル | トリアセチルセルロース | トリアセチルセルロース | ポリビニルブチラール |
---|---|---|---|---|
膜構成 | カーボン膜との2層構造 | SiO/C膜との3層構造 | カーボン膜との2層構造 | カーボン膜との2層構造 |
プラスチックの結晶性 | 結晶性 | 結晶性 | 結晶性 | 結晶性 |
プラスチックの比重 | 1.25 | 2.13(SiO) 1.34(TAC) |
1.34 | 1.25 |
プラスチックの融点(℃) | 140~150 | 1700(SiO) 230~300(TAC) |
230~300 | 140~200 |
機械的強度 | ○ | ◎ | ◎ | ○ |
表面の親水性 | × | △ | × | ○ |
メタノール耐性 | ○ | × | × | × |
エタノール耐性 | ○ | × | × | × |
その他のアルコール耐性 | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ× |
アセトン耐性 | × | ○ | ○ | × |
その他のケトン類薬品耐性 | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ○ | △ |
ベンゼン耐性 | ○ | ○ | ○ | × |
トルエン耐性 | × | ○ | ○ | × |
キシレン耐性 | × | ○ | ○ | × |
その他の芳香族薬品耐性 | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ× |
エチルエーテル耐性 | ○ | ○ | ○ | |
その他のエーテル類耐性 | ー | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ× |
酢酸メチル耐性 | × | × | × | × |
酢酸ェチル耐性 | ○ | ○ | ○ | × |
その他の酢酸エステル類耐性 | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ○ | ほぼ× |
塩化メチレン耐性 | × | × | × | × |
二塩化エチレン耐性 | × | × | × | × |
その他のハロゲン類薬品耐性 | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ× | ほぼ× |
強酸性薬品耐性 | ○ | × | × | ○ |
弱酸性薬品耐性 | ○ | ○ | ○ | ○ |
強アルカリ性薬品耐性 | ○ | × | × | ○ |
弱アルカリ性薬品耐性 | ○ | × | × | ○ |